蘇州華陸儀器儀表有限公司
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產(chǎn)品型號HLMFM3,4,6,8,10,12,18
品 牌
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地
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更新時間:2026-09-15 16:58:25瀏覽次數(shù):190次
聯(lián)系我時,請告知來自 儀表網(wǎng)HLMFM微管型質(zhì)量流量計(jì)傳感器采用微機(jī)械加工技術(shù),實(shí)現(xiàn)微小流量測量,其特點(diǎn)是可靠性高、重復(fù)性好,壓損小,無可動部件,量程比寬,響應(yīng)時間較快,測量精度高,無需要溫度壓力補(bǔ)償,HLMFM微管型質(zhì)量流量計(jì)廣泛應(yīng)用于輕工、化工、環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮?dú)獾葰怏w的檢測和控制。
HLMFM微管型質(zhì)量流量計(jì)傳感器采用微機(jī)械加工技術(shù),實(shí)現(xiàn)微小流量測量,其特點(diǎn)是可靠性高、重復(fù)性好,壓損小,無可動部件,量程比寬,響應(yīng)時間較快,測量精度高,無需要溫度壓力補(bǔ)償,廣泛應(yīng)用于輕工、化工、環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮?dú)獾葰怏w的檢測和控制。
工作原理:
感熱式芯片技術(shù)是采用大規(guī)模集成電阻的工作,在芯片上,一個微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的*工藝制作的鏤空橋面上,采用這這樣的橋式方式制作有利于熱傳導(dǎo),使動態(tài)響應(yīng)時間大大提高,當(dāng)傳感器工作時,微熱源與環(huán)境溫度之間保持一定的溫差(通常是70℃),在芯片周圍形成固定的溫度場分布,如果氣體是單向流動,則在氣道中溫度場可用下述公式來計(jì)算:
式中:氣體流動方向?yàn)椋俣葹椋觯釣閿U(kuò)散率。如上圖(式)所示,當(dāng)氣體流過芯片時,將會帶走熱量,通過質(zhì)量流量qm和電壓V的對應(yīng)關(guān)系來計(jì)算流體的質(zhì)量流量。
產(chǎn)品特點(diǎn):
·產(chǎn)品集成度高,集瞬間流量顯示、累計(jì)流量顯示和信號輸出一體,并可實(shí)現(xiàn)自動調(diào)節(jié)、控制閥門
·微流量感熱式傳感器采用大規(guī)模集成電路生產(chǎn)技術(shù)和材料加工技術(shù),使流量計(jì)的微流量測量靈敏度顯著提升
·微小流量氣體測量,ml/min級的微流量測控,實(shí)現(xiàn)微小流量測量的數(shù)字化
·單個芯片的**流量特性的微處理技術(shù),使流量計(jì)的量程范圍大大提高
·機(jī)電一體化優(yōu)化設(shè)計(jì),智能化的數(shù)據(jù)處理技術(shù),使流量計(jì)具有更好的重復(fù)性,實(shí)現(xiàn)了計(jì)量的準(zhǔn)確、可靠
·結(jié)構(gòu)的優(yōu)化,流量計(jì)的壓力損失達(dá)到*小化
·新的傳感技術(shù),使流量計(jì)工作更穩(wěn)定、可靠
·開創(chuàng)零點(diǎn)自校功能,測量更準(zhǔn)確
·多種氣體實(shí)際標(biāo)定,全量程補(bǔ)償
·快速響應(yīng)、數(shù)據(jù)自動存儲,配合上位機(jī)可實(shí)現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)集中管理
·規(guī)格齊全,量程范圍寬,可根據(jù)用戶要求單獨(dú)標(biāo)定
·精度等級高,滿足用戶高精度測量要求
·的流量計(jì)報警功能,使監(jiān)控更可靠
·操作、設(shè)置界面友好、簡便,可根據(jù)需要自行設(shè)定相關(guān)參數(shù)
·運(yùn)用行業(yè)多,是科研院所、分析儀表行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)、光伏行業(yè)、玻璃鍍膜、石油化工行業(yè)微小氣體流量控制產(chǎn)品升級換代的優(yōu)選
技術(shù)參數(shù):
·測量介質(zhì):各種氣體(乙炔氣和混合氣體除外)
·測量管徑:DN3,4,6,8,10,12,18
·流量范圍:20、30、50、100、300、500、1000SCCM
1、2、5、10、20、30、40、50、100、150、200、300、500SLPM
·流量測量準(zhǔn)確度:±1.5%FS
·工作溫度范圍:5℃-45℃
·工作壓力范圍:0.3MPa,0.6MPa,1.0MPa,3.0MPa
·供電電源:24VDC±10%
·輸出信號:4-20mA,RS485通訊
·環(huán)境溫度:5℃-45℃
外觀尺寸:
| L | D | H | G |
DN3 | 74 | 30 | 127 | G1/8 |
DN6 | 74 | 30 | 127 | G1/4 |
DN8 | 90 | 30 | 127 | G3/8 |
DN10 | 130 | 35 | 127 | G1/2 |
HLMFM微管型質(zhì)量流量計(jì)實(shí)物圖片:
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