蘇州華陸儀器儀表有限公司
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蘇州華陸儀器儀表有限公司
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產(chǎn)品型號HLMFM03
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廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
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更新時間：2026-09-16 12:17:29瀏覽次數(shù)：225次
聯(lián)系我時，請告知來自 儀表網(wǎng)微小氣體流量計(jì)在單個芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成，使該流量計(jì)的量程比（范圍度）大大提高，微小氣體流量計(jì)傳感器零點(diǎn)穩(wěn)定度較之傳統(tǒng)熱式質(zhì)量流量計(jì)有極大的改善，結(jié)合二次儀表的微電腦智能技術(shù)，使流量計(jì)重復(fù)性好，實(shí)現(xiàn)了計(jì)量準(zhǔn)確可靠，微小氣體流量計(jì)技術(shù)進(jìn)步帶來的結(jié)構(gòu)簡化，使流量計(jì)較之傳統(tǒng)的機(jī)械式儀表，壓力損失大幅度減小，極大地降低了能源消耗。
微小氣體流量計(jì)
流量計(jì)采用微機(jī)械加工技術(shù)，實(shí)現(xiàn)微小流量測量，其特點(diǎn)是可靠性高、重復(fù)性好，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應(yīng)時間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補(bǔ)償，廣泛應(yīng)用于輕工、化工、環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮?dú)獾葰怏w的檢測和控制。
工作原理：
感熱式芯片技術(shù)是采用大規(guī)模集成電阻的工作，在芯片上，一個微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的*工藝制作的鏤空橋面上，采用這這樣的橋式方式制作有利于熱傳導(dǎo)，使動態(tài)響應(yīng)時間大大提高，當(dāng)傳感器工作時，微熱源與環(huán)境溫度之間保持一定的溫差（通常是70℃），在芯片周圍形成固定的溫度場分布，如果氣體是單向流動，則在氣道中溫度場可用下述公式來計(jì)算:
式中：氣體流動方向?yàn)椋?，速度為ｖ，ａ為擴(kuò)散率。如上圖（式）所示，當(dāng)氣體流過芯片時，將會帶走熱量，通過質(zhì)量流量qm和電壓V的對應(yīng)關(guān)系來計(jì)算流體的質(zhì)量流量。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
·產(chǎn)品集成度高，集瞬間流量顯示、累計(jì)流量顯示和信號輸出一體，并可實(shí)現(xiàn)自動調(diào)節(jié)、控制閥門
·微流量感熱式傳感器采用大規(guī)模集成電路生產(chǎn)技術(shù)和材料加工技術(shù)，使流量計(jì)的微流量測量靈敏度顯著提升
·微小流量氣體測量，ml/min級的微流量測控，實(shí)現(xiàn)微小流量測量的數(shù)字化
·單個芯片的**流量特性的微處理技術(shù)，使流量計(jì)的量程范圍大大提高
·機(jī)電一體化優(yōu)化設(shè)計(jì)，智能化的數(shù)據(jù)處理技術(shù)，使流量計(jì)具有更好的重復(fù)性，實(shí)現(xiàn)了計(jì)量的準(zhǔn)確、可靠
·結(jié)構(gòu)的優(yōu)化，流量計(jì)的壓力損失達(dá)到*小化
·新的傳感技術(shù)，使流量計(jì)工作更穩(wěn)定、可靠
·開創(chuàng)零點(diǎn)自校功能，測量更準(zhǔn)確
·多種氣體實(shí)際標(biāo)定，全量程補(bǔ)償
·快速響應(yīng)、數(shù)據(jù)自動存儲，配合上位機(jī)可實(shí)現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)集中管理
·規(guī)格齊全，量程范圍寬，可根據(jù)用戶要求單獨(dú)標(biāo)定
·精度等級高，滿足用戶高精度測量要求
·的流量計(jì)報(bào)警功能，使監(jiān)控更可靠
·操作、設(shè)置界面友好、簡便，可根據(jù)需要自行設(shè)定相關(guān)參數(shù)
·運(yùn)用行業(yè)多，是科研院所、分析儀表行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)、光伏行業(yè)、玻璃鍍膜、石油化工行業(yè)微小氣體流量控制產(chǎn)品升級換代的優(yōu)選
技術(shù)參數(shù)：
·測量介質(zhì)：各種氣體（乙炔氣和混合氣體除外）
·測量管徑：DN3，4，6，8，10，12，18
·流量范圍：50、100、300、500、1000sccm
1、2、5、10、20、30、40、50、100、150、200、300、500SLM
·流量測量準(zhǔn)確度：±1.5%FS，±2.5%FS
·工作溫度范圍：-25℃-55℃
·工作壓力范圍：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa，3.0MPa
·供電電源：24VDC±10%
·輸出信號：4-20mA，RS485通訊
·環(huán)境溫度：-25℃-55℃
外觀尺寸：
| L | D | H | G |
DN3 | 74 | 30 | 127 | G1/8 |
DN6 | 74 | 30 | 127 | G1/4 |
DN8 | 90 | 30 | 127 | G3/8 |
DN10 | 130 | 35 | 127 | G1/2 |
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