蘇州華陸儀器儀表有限公司
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產(chǎn)品型號HLMFM06
品 牌
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地
聯(lián)系方式:經(jīng)理查看聯(lián)系方式
更新時間:2026-09-17 16:39:43瀏覽次數(shù):193次
聯(lián)系我時,請告知來自 儀表網(wǎng)實驗室流量計微小流量氣體測量,ml/min級的微流量測控,實現(xiàn)微小流量測量的數(shù)字化。單個芯片的流量特性的微處理技術(shù),使流量計的量程范圍大大提高,實驗室流量計機電一體化優(yōu)化設(shè)計,智能化的數(shù)據(jù)處理技術(shù),使流量計具有更好的重復性,實現(xiàn)了計量的準確、可靠。
實驗室流量計
質(zhì)量流量控制器傳感器采用微機械加工技術(shù),實現(xiàn)微小流量測量,其特點是可靠性高、重復性好,壓損小,無可動部件,量程比寬,響應時間較快,測量精度高,無需要溫度壓力補償,廣泛應用于輕工化工環(huán)保及半導體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。
工作原理:
感熱式芯片技術(shù)是采用大規(guī)模集成電阻的工作,在芯片上,一個微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的*工藝制作的鏤空橋面上,采用這這樣的橋式方式制作有利于熱傳導,使動態(tài)響應時間大大提高,當傳感器工作時,微熱源與環(huán)境溫度之間保持一定的溫差(通常是70℃),在芯片周圍形成固定的溫度場分布,如果氣體是單向流動,則在氣道中溫度場可用下述公式來計算:
式中:氣體流動方向為x,速度為v,a為擴散率。如上圖(式)所示,當氣體流過芯片時,將會帶走熱量,通過質(zhì)量流量qm和電壓V的對應關(guān)系來計算流體的質(zhì)量流量。
產(chǎn)品特點:
·產(chǎn)品集成度高,集瞬間流量顯示、累計流量顯示和信號輸出一體,并可實現(xiàn)自動調(diào)節(jié)、控制閥門
·微流量感熱式傳感器采用大規(guī)模集成電路生產(chǎn)技術(shù)和材料加工技術(shù),使流量計的微流量測量靈敏度顯著提升
·微小流量氣體測量,ml/min級的微流量測控,實現(xiàn)微小流量測量的數(shù)字化
·單個芯片的流量特性的微處理技術(shù),使流量計的量程范圍大大提高
·機電一體化優(yōu)化設(shè)計,智能化的數(shù)據(jù)處理技術(shù),使流量計具有更好的重復性,實現(xiàn)了計量的準確、可靠
·結(jié)構(gòu)的優(yōu)化,流量計的壓力損失達到*小化
·新的傳感技術(shù),使流量計工作更穩(wěn)定、可靠
·零點自校功能,測量更準確
·多種氣體實際標定,全量程補償
·快速響應、數(shù)據(jù)自動存儲,配合上位機可實現(xiàn)網(wǎng)絡集中管理
·規(guī)格齊全,量程范圍寬,可根據(jù)用戶要求單獨標定
·精度等級高,滿足用戶高精度測量要求
·的流量計報警功能,使監(jiān)控更可靠
·操作、設(shè)置界面友好、簡便,可根據(jù)需要自行設(shè)定相關(guān)參數(shù)
·運用行業(yè)多,是科研院所、分析儀表行業(yè)、半導體行業(yè)、光伏行業(yè)、玻璃鍍膜、石油化工行業(yè)微小氣體流量控制產(chǎn)品升級換代的優(yōu)選
技術(shù)參數(shù):
·測量介質(zhì):各種氣體(乙炔氣和混合氣體除外)
·測量管徑:DN3,6,8,10
·流量范圍:30,60,80,100,300,600,800,1000sccm;10,20,30,50,80,100SLPM
·流量測量準確度:±1.5%FS;±2.5%FS
·工作溫度范圍:-25℃-55℃
·工作壓力范圍:0.3MPa,0.6MPa,1.0MPa
·供電電源:24VDC±10%;
·輸出信號:4-20mA,RS485通訊;
·環(huán)境溫度:-25℃-55℃
·顯示位數(shù):瞬時流量為三位,累積流量10位。
外觀尺寸:
L | D | H | G | |
DN3 | 74 | 30 | 127 | G1/8 |
DN6 | 74 | 30 | 127 | G1/4 |
DN8 | 90 | 30 | 127 | G3/8 |
DN10 | 130 | 35 | 127 | G1/2 |
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