北京金時(shí)速儀器設(shè)備經(jīng)營部
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高溫超導(dǎo)薄膜單晶基片SrTiO3
鈦酸鍶(SrTiO3)是當(dāng)前應(yīng)用zui廣的優(yōu)秀高溫超導(dǎo)單晶基片之一。它與YBaCuO等高溫超導(dǎo)材料的晶格匹配好,無孿晶結(jié)構(gòu),物理、機(jī)械性能優(yōu)良
高溫超導(dǎo)薄膜單晶基片SrTiO3
鈦酸鍶(SrTiO3)是當(dāng)前應(yīng)用zui廣的優(yōu)秀高溫超導(dǎo)單晶基片之一。它與YBaCuO等高溫超導(dǎo)材料的晶格匹配好,無孿晶結(jié)構(gòu),物理、機(jī)械性能優(yōu)良。使用多種制膜技術(shù)(如磁濺射,脈沖激光沉積,激光分子束外延等)制作的多種高溫超導(dǎo)薄膜(Y-系,Bi-系,La-系等)均可得到 TCO≥90°K, JCO≥106A/cm2等指標(biāo)。SrTiO3也是高溫超導(dǎo)結(jié)技術(shù)(使用雙晶基片或臺階狀基片)及基片臺階化(按特定角度斜切并熱處理)的*單晶材料。
主要技術(shù)指標(biāo):
晶系 | 立方晶系 |
晶格常數(shù)( ) | a=3.905 |
熔點(diǎn)(℃) | 2080 |
密度(g/cm3 ) | 5.122 |
比熱(cal/g ℃) | 0.13 |
莫氏硬度 | 6-6.5 |
熱膨脹系數(shù)(/ ℃) | 9.4x10-6 |
介電常數(shù) | ε∞= 5.20 |
特點(diǎn) | 與YBCO(3.866)匹配 |
生長方法 | 火焰法 |
基片規(guī)格:
| 尺寸: | 10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20, |
| Ф15,Ф20,Ф25 等 | |
| 或按用戶要求特殊加工 | |
| 厚度: | 0.5mm,1.0mm |
| 尺寸公差: | <±0.1mm |
| 厚度公差: | <±0.015mm(特殊要求可達(dá)到<±0.005mm) |
| 表面拋光: | 單面或雙面 |
| 取向: | <100> <110> <111> 等; |
| 晶面定向精度: | ±0.5° |
| 邊緣定向精度: | 2°(特殊要求可達(dá)1°以內(nèi)) |
| 斜切晶片: | 可按特定需求,加工邊緣取向的晶面按特定角度傾斜(傾斜角1°-45°)的晶片 |
| Ra | ≤5?(5μm×5μm) |
高溫超導(dǎo)薄膜單晶基片SrTiO3
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