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KDB-3雙組合四探針?lè)阶?電阻率測(cè)試儀

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KDB-3雙組合四探針?lè)阶?電阻率測(cè)試儀
是根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)SEMI MF1529設(shè)計(jì)，雙組合測(cè)試方法使用四探針的方式不同于其他ASTM測(cè)量半導(dǎo)體電阻率或薄層電阻的方法。

詳細(xì)介紹

KDB-3雙組合四探針?lè)阶?電阻率測(cè)試儀

KDB-3雙組合測(cè)試儀是根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)SEMI MF1529設(shè)計(jì)，雙組合測(cè)試方法使用四探針的方式不同于其他ASTM測(cè)量半導(dǎo)體電阻率或薄層電阻的方法。在本測(cè)試方法中，在測(cè)試樣品的每個(gè)測(cè)量位置上，以兩種不同的方式（配置）將探針連接到提供電流和測(cè)量電壓的電路中。四探針的這種使用法通常被稱為“雙配置”或“配置切換”測(cè)量。單組合四探針相比，用較小間距的探針頭就可以進(jìn)行高精度的測(cè)量，從而可獲得更高的晶片薄層電阻變化的空間分辨率。

儀器特點(diǎn)如下：

1、配有雙數(shù)字表：一塊數(shù)字表在測(cè)量顯示硅片電阻率的同時(shí)，另一塊數(shù)字表（以萬(wàn)分之幾的精度）適時(shí)監(jiān)測(cè)全過(guò)程中的電流變化，使操作更簡(jiǎn)便，測(cè)量更精確。

數(shù)字電壓表量程：0—199.99mV 靈敏度：10μV 輸入阻抗：1000ΜΩ

基本誤差±(0.04-0.05%讀數(shù)+0.01%滿度)

2、可測(cè)電阻率范圍：10^—⁴—1.9×10⁴Ω·cm。

可測(cè)方塊電阻范圍：10^—³—1.9×10⁵Ω/□。

3、設(shè)有電壓表自動(dòng)復(fù)零功能，當(dāng)四探針頭1、4探針間未有測(cè)量電流流過(guò)時(shí)，電壓表指零，只有1、4探針接觸到硅片，測(cè)量電流渡過(guò)單晶時(shí)，電壓表才指示2、3探針間的電壓（即電阻率）值；同樣，當(dāng)四探針頭1、3探針間未有測(cè)量電流流過(guò)時(shí)，電壓表指零，只有1、3探針接觸到硅片，測(cè)量電流渡過(guò)單晶時(shí)，電壓表才指示2、4探針間的電壓（即電阻率）值，避免空間雜散電波對(duì)測(cè)量的干擾。

4、流經(jīng)硅片的測(cè)量電流由高度穩(wěn)定（萬(wàn)分之五精度）的特制恒流源提供，不受氣候條件的影響，整機(jī)測(cè)量精度＜3%。

電流量程分五檔：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。

5、儀器采用觸點(diǎn)電阻更低（＜5mΩ）、使用壽命更長(zhǎng)的轉(zhuǎn)換開(kāi)頭及繼電器（＞10萬(wàn)次），在絕緣電阻、電流容量方面留有更大的安全系數(shù)，提高了測(cè)試儀的可靠性和使用壽命。

6、可選配軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)采集,可進(jìn)行雙組合或單組合測(cè)量，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)切換電壓檔位、讀取相應(yīng)電壓值，根據(jù)不同方法計(jì)算電阻率或方塊電阻值；軟件可對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，如平均值，zui大值、zui小值、zui大百分變化率、平均百分變化率、徑向不均勻度等內(nèi)容。

7、可配KDDJ-3電動(dòng)測(cè)試架，自動(dòng)上下運(yùn)行，使測(cè)量更方便快捷。

8、四探針頭采用上*的紅寶石軸套導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，使探針的游移率減小，測(cè)量重復(fù)性提高（*已于2005.02.02授予權(quán)，03274755.1）。

測(cè)量軟件界面如下圖所示：

KDB-3雙組合四探針?lè)阶?電阻率測(cè)試儀

關(guān)鍵詞：標(biāo)準(zhǔn) 電壓表

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