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ALICAT 截止閥質(zhì)量流量控制器 21VS型

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產(chǎn)品型號21VS系列

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地北京市

聯(lián)系方式:曾查看聯(lián)系方式

更新時間:2025-03-14 07:24:32瀏覽次數(shù):253次

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經(jīng)營模式:代理商

商鋪產(chǎn)品:224條

所在地區(qū):北京北京市

聯(lián)系人:曾 (經(jīng)理)

產(chǎn)品簡介

ALICAT截止閥質(zhì)量流量控制器21VS型美國ALICAT21VS系列帶截止閥抗腐蝕型質(zhì)量流量控制器,采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù),使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動

詳細(xì)介紹

ALICAT 截止閥質(zhì)量流量控制器 21VS型

美國ALICAT 21VS系列帶截止閥抗腐蝕型質(zhì)量流量控制器,采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù),使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異,并對用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。所有Alicat質(zhì)量流量控制器均具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。Alicat的21VS系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器可用于快速精確地測量并控制腐蝕性氣體(如NH3、H2S、SiH4等)的質(zhì)量流量、體積流量、壓力,并顯示氣體溫度。此外,21VS系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器是專為需要緊密關(guān)閉應(yīng)用而設(shè)計(jì)的,如真空鍍膜和濺射過程等。該集成氣動切斷閥是常閉的,并且在閉合狀態(tài)下其氦氣泄漏率僅為1x10 atm scc/s。

應(yīng)用及案例

● 大學(xué)/研究所
● 環(huán)境監(jiān)測
● 真空行業(yè)及鍍膜
● 工業(yè)爐窯
● 汽車制造
● 計(jì)量
● 過程工藝氣體測量
產(chǎn)品特色
● 數(shù)字化產(chǎn)品
● 帶氣動截止閥,泄漏率低
● 多參數(shù)顯示和輸出:溫度、壓力、流量等
● 多參數(shù)控制:體積流量、質(zhì)量流量和壓力
● 可選高精度    優(yōu)于0.5%
● 高量程比 100:1
● 響應(yīng)時間快 僅需100ms(可調(diào))
● 內(nèi)置128種常規(guī)以及腐蝕性氣體
● 可現(xiàn)場標(biāo)定混合氣體(最多5種成分),并存儲20種混合氣
● 可適用于諸多腐蝕性氣體
性能指標(biāo)

介質(zhì)要求    潔凈、干燥的氣體,腐蝕和非腐蝕性均可

介質(zhì)種類    內(nèi)置了128種氣體,請參考“產(chǎn)品資料下載”中氣體兼容表一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體,用戶可現(xiàn)場選擇

量       程    從0-0.5SCCM 到 0-20SLPM()

量 程  比    100:1

顯示流量:102.4%FS

顯 示  屏    帶按鍵,標(biāo)準(zhǔn)為LCD顯示屏,可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精       度    ± (0.8%RD+0.2%FS),RD-讀數(shù) FS-滿量程

                   高 精  度    ±(0.4%RD + 0.2%FS),選配

                   僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設(shè)備

閥門泄漏率    不超過1x10 atm scc/sec (He)

重 復(fù)  性    ± 0.2% FS

零點(diǎn)漂移&滿量程漂移    0.02% FS / ℃ / Atm

響應(yīng)時間    100ms 預(yù)熱時間:<1s

標(biāo)定工況    25℃  & 100kPa 絕壓

                  20℃  & 100kPa 絕壓

                  0  ℃  & 100kPa 絕壓 (三種工況現(xiàn)場可切換)

工作溫度    -10 ~ +50 ?C

工作濕度    0-99%,無冷凝

標(biāo)準(zhǔn)工作壓力    1MPa 表壓

標(biāo)準(zhǔn)極限耐壓    1.2MPa 表壓

中壓選項(xiàng)    2MPa

數(shù)字輸入/輸出信號:RS232或RS485或Modbus或Profibus*

模擬輸入/輸出信號:0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA可選第二路模擬輸出:質(zhì)量流量或體積流量或壓力或溫度

供電電壓    7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出,須為15-30 Vdc)

供電電流    250mA ~ 750mA

電氣接口    8針Mini-DIN或DB9或DB15或6針工業(yè)接頭

材       質(zhì)    316L不銹鋼、303不銹鋼, 430FRSS, FFKM (Kalrez)

可根據(jù)特殊氣體選用Viton, EPDM, Buna, Neoprene

安裝方式    對位置無要求

防護(hù)等級    IP40

 

* 如選Profibus,則無模擬信號,無顯示,其供電電壓及供電電流需咨詢我們


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