質(zhì)譜技術(shù)用來檢測和分離同位素，經(jīng)過長期不斷*，現(xiàn)已成為一種具有優(yōu)勢的分析技術(shù)。由于其具有高精度及高靈敏度的優(yōu)點，作為檢測和分析的主要手段已被廣泛應用于多種領(lǐng)域。殘余氣體檢測質(zhì)譜儀分別以空氣、空氣/氬氣混合氣體為樣品，研究了質(zhì)譜儀的進樣輸運效應。利用空氣/氬氣混合氣體作為標準樣品，進行了質(zhì)譜峰強對濃度的標定，獲得了分析儀對殘余空氣定量分析的標定關(guān)系。研究發(fā)現(xiàn)：由于輸運過程，注入樣品由于不同成分的輸運速率、排空速率不同，樣品不同成分在質(zhì)譜儀內(nèi)的量與其原始物質(zhì)的量有所不同。
在低溫等離子體化學反應過程中會生成多種中間和最終產(chǎn)物，殘余氣體檢測質(zhì)譜儀是識別和分析這些復雜物質(zhì)成分的有效工具。分析新生物種及其反應機理，不僅需要定性識別，更需要定量分析，因此探索利用質(zhì)譜儀實現(xiàn)等離子體化學反應體系成分的定量診斷技術(shù)具有廣闊的應用前景。質(zhì)譜分析儀配置有復雜的腔體結(jié)構(gòu)、超高真空機組以及樣品注入和輸運通道，因此氣體樣品需經(jīng)歷緩慢的輸運過程，才能在分析儀腔體內(nèi)穩(wěn)定分布。從氣體樣品注入到穩(wěn)定分布的歷程中，不同時刻的質(zhì)譜分布不斷演變，此即進樣輸運過程。在輸運過程的不同階段，掌握質(zhì)譜峰相對強度的演變規(guī)律是實現(xiàn)氣體成分定量分析的關(guān)鍵。
殘余氣體檢測質(zhì)譜儀結(jié)構(gòu)緊湊，堅固耐用，采用適用工業(yè)現(xiàn)場和野外使用的堅固的儀器外殼，整體重量小。優(yōu)異的靈敏度和測量精度，使其特別適用于特定無機化合物和有機化合物(VOC)的動態(tài)在線檢測，使得現(xiàn)場檢測具備了實驗室分析的水平。配備NIST標準譜庫后，能夠?qū)ξ粗獦悠愤M行定性識別和定量分析。一臺儀器匹配不同的采樣裝置，即可滿足大部分日常測試應用的需求。功能*的分析軟件可以快速收集數(shù)據(jù)，在精確快速定量顯示實時濃度變化趨勢的同時，還能夠顯示完整質(zhì)譜圖，實現(xiàn)定性分析。
