50MY15層流元件

層流元件

Meriam層流元件 (LFE) 非常適合測量 0.2 SCCM 至 2250 SCFM 的低氣體流量。 它們具有固有的準確性和可重復性，并在我們通過 ISO 17025 認證的流量實驗室進行校準，可追溯至 NIST。流量變小為 20:1 或更小，產(chǎn)生的壓差與流量幾乎呈線性關(guān)系。這種組合使 LFE 成為氣體流量測量和流量控制應(yīng)用的。

性能

標準 LFE 校準精度為讀數(shù)的 ± 0.72%（不是滿量程的百分比），可追溯至美國國家標準與技術(shù)研究院 (NIST)。堅固的結(jié)構(gòu)和無任何活動部件使 LFE 校準穩(wěn)定。只有物理損壞或元件中的微粒沉積才會導致校準偏移。

標準精度：讀數(shù)的 ± 0.72% 至 ± 0.86

重復性：0.1

響應(yīng)時間：16 毫秒

轉(zhuǎn)差：20:1 使用精確 DP 設(shè)備可實現(xiàn) 20:1 更大轉(zhuǎn)彎率使用精確 DP 設(shè)備可實現(xiàn)

實用性

LFE 可用于測量各種氣體和應(yīng)用的流量

各種氣體和應(yīng)用的流速。標準型號可在標準條件下測量小至 0.2 SCCM（5.9 E-06 SCFM）、大至 2250 SCFM 的空氣流量。還可提供 15,000 SCFM 的定制型號。不銹鋼或鋁質(zhì)材料使 LFE 與大多數(shù)氣體兼容。在已知氣體成分百分比和混合物特性的情況下，還可以測量氣體混合物的流量。

LFE 矩陣

LFE 矩陣可由單獨的 SS 管或 SS 箔纏繞而成。相對于內(nèi)徑而言，這些管子足夠長，可以在每個管子內(nèi)形成層流。因此，DP 與流速之間的關(guān)系接近線性。矩陣上產(chǎn)生的 DP 對流量變化的反應(yīng)非常迅速。所有 DP 都會對系統(tǒng)造成性壓力損失，但 LFE 的尺寸可在流量條件下產(chǎn)生不超過 8 英寸的水柱。單管直徑非常小，因此流動氣體必須清潔干燥，以保持校準。大多數(shù) LFE 型號都提供過濾式入口，以保持基質(zhì)清潔和校準恒定。

校準和精度

Meriam LFE 使用空氣進行校準，校準條件為值 29.92" 汞柱 (760mm Hg. Abs.) 和 70oF (21.1oC)。每個完成校準的元件都可溯源至美國國家標準與技術(shù)研究院。我們的特殊校準程序 #A-33544 設(shè)計用于滿足 MIL-STD-45662A、ANSI Z540、10CFR50 和 MIL-Q-9858A 的基本要求。

Meriam LFE 具有 SCFM 與英寸水壓差的可重現(xiàn)流量曲線。修正系數(shù)涵蓋 26 至 36" Hg Abs.的入口壓力范圍和 50oF 至 150oF 的入口溫度范圍。對于特殊流量應(yīng)用，請聯(lián)系 Meriam 并提供完整的流量信息。所有 Meriam LFE 的額定精度*均為實際讀數(shù)的百分比，而非其他設(shè)備更寬泛的滿量程流量容差百分比

*可提供的精確度等級：

†± 0.86% 讀數(shù)，滿刻度流量為 1000 SCFM 或更高

††± 0.70% 讀數(shù)，滿刻度流量為 1000 SCFM 或更高