氣體質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)

1、用途和特點(diǎn)

氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller ）用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。它在多個(gè)領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要而廣泛的應(yīng)用。

質(zhì)量流量控制器具有精度高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動(dòng)、穩(wěn)定可靠、工作壓力范圍寬等（可以使用在高壓及真空系統(tǒng)）特點(diǎn)。操作使用方便，可任意位置安裝，配合DSN2000流量顯示儀或其他流量控制器顯示儀使用，也可直接同計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)RS-232 連接，非常方便的實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制。它也可以作為氣體質(zhì)量流量計(jì)使用。配合DSN2000流量顯示儀對(duì)氣體的瞬時(shí)流量和累積流量進(jìn)行精確測(cè)量和控制。

2命名方法

本公司產(chǎn)品采用中華人民共和國電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SJ/T10583-94 、SJ37以及中華人民共和國國家計(jì)量技術(shù)規(guī)范JJF 1246-2010 所規(guī)定的通用技術(shù)條件和命名方法。本技術(shù)說明書為氣體質(zhì)量流量控制器的使用說明書。

3、主要技術(shù)指標(biāo):

注意:

質(zhì)量流量控制器出廠通常用氮?dú)猓∟2）標(biāo)定。

質(zhì)量流量的單位規(guī)定為:   SCCM (標(biāo)準(zhǔn)毫升/分);

SLM (標(biāo)準(zhǔn)升/分)

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為:         溫度 ---273.15K ( 0℃ );

氣壓 —- 101325 Pa (760mm Hg)

F.S (Full Scale):       滿量程值

4. 結(jié)構(gòu)工作原理

   氣體質(zhì)量流量控制器由質(zhì)量流量傳感器，分流器通道，流量控制調(diào)節(jié)閥和放大控制電路等部件組成。

本流量控制器利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測(cè)量毛細(xì)管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成。

采用毛細(xì)管傳熱溫差熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量，可以不受溫度壓力的影響。將傳感器測(cè)得的流量信號(hào)進(jìn)行放大，然后與設(shè)定的電壓進(jìn)行比較，用所得的差值信號(hào)去驅(qū)動(dòng)控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。

分流器在主通道和毛細(xì)管間產(chǎn)生層流，用以擴(kuò)大通過流量控制器的流量。

控制器輸出的流量以電壓形式輸出，滿量程為5.00V。

控制器一般可以與計(jì)算機(jī)或與之相兼容的流量顯示儀連接。

直接與計(jì)算機(jī)連接,則需要用戶另行提供電源和A/D,D/A轉(zhuǎn)換卡。

控制操作一般在流量顯示儀上進(jìn)行。在流量顯示儀內(nèi)設(shè)置有三位閥門控制開關(guān)，當(dāng)置“關(guān)閉”位時(shí)，閥門關(guān)閉；當(dāng)置“清洗”位時(shí)，閥門開到zui大，以便氣路清洗，或作為流量計(jì)使用；當(dāng)置于“閥控”時(shí)，則按設(shè)定電壓的數(shù)值自動(dòng)控制氣體流量。（參考流量顯示儀的使用說明書） 

控制器輸出的流量檢測(cè)電壓與流過通道的質(zhì)量流量成正比, 滿量程(F.S) 流量檢測(cè)輸出電壓為+5.00V。質(zhì)量流量控制器的流量控制范圍是(2~100)%F.S （量程比為50:1）, 流量分辨率是0.1%F.S 。

注意:

當(dāng)質(zhì)量流量控制器的“閥控”線置于“清洗”位時(shí)，也可以當(dāng)質(zhì)量流量計(jì)使用。在做

流量計(jì)使用時(shí)，流量檢測(cè)電壓的輸出值z(mì)ui大可能達(dá)+10V以上，不過要注意，當(dāng)流量超過滿

量程值（+5.00V）后，流量檢測(cè)電壓與通過的實(shí)際流量不成線性對(duì)應(yīng)關(guān)系。清洗時(shí)，流量顯示不準(zhǔn)確，還可能出現(xiàn)流量增大顯示反而減小的異常現(xiàn)象，但并不會(huì)對(duì)流量計(jì)本身造成損傷。在氣路中氣源未開啟的情況下，禁止使用清洗功能。用于“清洗”狀態(tài)的時(shí)間不宜過長，否則將對(duì)流量控制器的性能產(chǎn)生影響.

氣體質(zhì)量流量控制器