江蘇南通氣體質(zhì)量流量控制儀/流量計
1、用途和特點
氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller ）用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。它在多個領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要而廣泛的應(yīng)用。
質(zhì)量流量控制器具有精度高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動、穩(wěn)定可靠、工作壓力范圍寬等（可以使用在高壓及真空系統(tǒng)）特點。操作使用方便，可任意位置安裝，配合DSN2000流量顯示儀或其他流量控制器顯示儀使用，也可直接同計算機實現(xiàn)RS-232 連接，非常方便的實現(xiàn)自動控制。它也可以作為氣體質(zhì)量流量計使用。配合DSN2000流量顯示儀對氣體的瞬時流量和累積流量進(jìn)行精確測量和控制。
2命名方法
本公司產(chǎn)品采用中華人民共和國電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SJ/T10583-94 、SJ37以及中華人民共和國國家計量技術(shù)規(guī)范JJF 1246-2010 所規(guī)定的通用技術(shù)條件和命名方法。本技術(shù)說明書為氣體質(zhì)量流量控制器的使用說明書。
3、江蘇南通氣體質(zhì)量流量控制儀主要技術(shù)指標(biāo):
 
序號
項目
內(nèi)容
１
江蘇南通氣體質(zhì)量流量控制儀流量范圍
0～5，10，20，30，50，100，200，300，500 SCCM；
0～1，2，3，5，100，200，300 SLM
2
準(zhǔn)確度
±1%F.S   /  ±2%F.S
3
控制范圍
2%~F.S  /  0%~F.S
4
線性
±(0.5～2)%F.S  /  ±(0.5～1)%F.S
5
重復(fù)精度
±0.2%F.S
6
響應(yīng)時間
電特性：＜10  /  氣特性：＜1～4
7
工作壓差范圍
0.05～0.3Mpa
8
耐壓
3，10Mpa
9
工作環(huán)境溫度
5～65℃
10
輸入輸出信號電壓
0～+5.00VDC    4~20mA
11
電源
+15V  50mA，－15V  50mA
12
外形尺寸
130*28*121mm
13
重量
1.0  /  1.5kg
注意:
質(zhì)量流量控制器出廠通常用氮氣（N2）標(biāo)定。
質(zhì)量流量的單位規(guī)定為:   SCCM (標(biāo)準(zhǔn)毫升/分);
SLM (標(biāo)準(zhǔn)升/分)
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為:         溫度 ---273.15K ( 0℃ );
氣壓 —- 101325 Pa (760mm Hg)
F.S (Full Scale):       滿量程值
4. 結(jié)構(gòu)工作原理
 
   氣體質(zhì)量流量控制器由質(zhì)量流量傳感器，分流器通道，流量控制調(diào)節(jié)閥和放大控制電路等部件組成。
本流量控制器利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細(xì)管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成。
采用毛細(xì)管傳熱溫差熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，可以不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進(jìn)行放大，然后與設(shè)定的電壓進(jìn)行比較，用所得的差值信號去驅(qū)動控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。
分流器在主通道和毛細(xì)管間產(chǎn)生層流，用以擴大通過流量控制器的流量。
控制器輸出的流量以電壓形式輸出，滿量程為5.00V。
控制器一般可以與計算機或與之相兼容的流量顯示儀連接。
直接與計算機連接,則需要用戶另行提供電源和A/D,D/A轉(zhuǎn)換卡。
控制操作一般在流量顯示儀上進(jìn)行。在流量顯示儀內(nèi)設(shè)置有三位閥門控制開關(guān)，當(dāng)置“關(guān)閉”位時，閥門關(guān)閉；當(dāng)置“清洗”位時，閥門開到zui大，以便氣路清洗，或作為流量計使用；當(dāng)置于“閥控”時，則按設(shè)定電壓的數(shù)值自動控制氣體流量。（參考流量顯示儀的使用說明書） 
控制器輸出的流量檢測電壓與流過通道的質(zhì)量流量成正比, 滿量程(F.S) 流量檢測輸出電壓為+5.00V。質(zhì)量流量控制器的流量控制范圍是(2~100)%F.S （量程比為50:1）, 流量分辨率是0.1%F.S 。
注意:
當(dāng)質(zhì)量流量控制器的“閥控”線置于“清洗”位時，也可以當(dāng)質(zhì)量流量計使用。在做
流量計使用時，流量檢測電壓的輸出值zui大可能達(dá)+10V以上，不過要注意，當(dāng)流量超過滿
量程值（+5.00V）后，流量檢測電壓與通過的實際流量不成線性對應(yīng)關(guān)系。清洗時，流量顯示不準(zhǔn)確，還可能出現(xiàn)流量增大顯示反而減小的異?，F(xiàn)象，但并不會對流量計本身造成損傷。在氣路中氣源未開啟的情況下，禁止使用清洗功能。用于“清洗”狀態(tài)的時間不宜過長，否則將對流量控制器的性能產(chǎn)生影響.
氣體質(zhì)量流量控制器