粗糙度檢測儀用于測量目標(biāo)物表面平滑度（凸凹程度）的裝置，又被稱為“表面粗糙度儀"。主要分為觸針式及激光式。過去通常會使用金剛石材質(zhì)的觸針機(jī)型，但由于在測量半導(dǎo)體等表面時可能會劃傷表面，因此光學(xué)機(jī)型正在逐步普及。不光支持平面測量，還有能夠測量曲面的機(jī)型，近年來還出現(xiàn)了基于表面測量數(shù)據(jù)，將形狀顯示為三維圖像的儀器。
其用途包括金屬表面的磨損狀況確認(rèn)、切削面狀況確認(rèn)，以及涂裝時的完成狀態(tài)確認(rèn)等。在電子部件薄膜加工不斷發(fā)展的過程中，部分儀器還能以納米量級進(jìn)行測量。
粗糙度檢測儀的主要使用方法：
使用接觸式時，觸針會沿著目標(biāo)物表面移動，測量表面的粗糙度。相比之下，采用激光的非接觸式機(jī)型則會用激光照射目標(biāo)物，通過檢測反射光，測量粗糙度。
測量時必須注意測量方向。例如在檢測金屬加工品時，為了更加確切地捕捉凸凹的特點(diǎn)，基本會進(jìn)行與加工方向相垂直的測量。
實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確測量的關(guān)鍵，是決定測量速度。先從較低的速度開始嘗試，在測量值穩(wěn)定的范圍內(nèi)實(shí)施測量。
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