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四方儀器針對半導體行業(yè)薄膜沉積設備清潔終點檢測需求，推出的NDIR紅外氣體傳感器，可精準在線監(jiān)測WF6、SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體濃度，助力優(yōu)化腔室清洗工藝、精準控制清洗時長、降低特氣消耗，提升整體工藝良率。
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