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使用扣罩法結(jié)合高靈敏度的光聲光譜痕量SF6檢測系統(tǒng),是一種準(zhǔn)確、可靠、高效的解決方案。
GASERA ONE CF4分析儀是基于超靈敏懸臂梁增強光聲光譜探測技術(shù),結(jié)合量子級聯(lián)激光(QCL)光源,工作于CF4的中紅外基本光譜吸收峰。這兩者的結(jié)合提供了...
超靈敏光學(xué)麥克風(fēng)
實踐證明深紫外光刻工藝深受多種類微量污染物的影響,對很多微量污染物極為敏感,比如氨氣或者酸性氣體都會給半導(dǎo)體生產(chǎn)帶來極大的危害,盡管隨著深紫外耐腐蝕材料技術(shù)的發(fā)...
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