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MTM-20 高分辨膜厚測(cè)控儀

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更新時(shí)間：2023-05-12 07:56:03瀏覽次數(shù)：121次

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高分辨率膜厚測(cè)控儀的原理是：石英晶振片的振動(dòng)頻率隨其表面所沉積膜的質(zhì)量不同而變化

詳細(xì)介紹

高分辨率膜厚測(cè)控儀的原理是：石英晶振片的振動(dòng)頻率隨其表面所沉積膜的質(zhì)量不同而變化。根據(jù)這一特性，可以通過(guò)測(cè)量石英晶振片的振動(dòng)頻率變化，以計(jì)算出沉積膜的質(zhì)量多少。再通過(guò)已知的膜密度和面積，而最終精確計(jì)算出所沉積膜的厚度。

性能參數(shù)：

膜厚范圍:	0.0 - 999.9nm
分辨率:	0.1nm
密度范圍:	0.50 - 30.00g/cm³
修正因子:	0.25 - 8.0
存儲(chǔ)功能:	可存儲(chǔ)4組密度和修正因子數(shù)據(jù)
鍍膜控制:	可根據(jù)所設(shè)定的膜厚要求自動(dòng)終止鍍膜過(guò)程