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雙級(jí)減壓器與單級(jí)減壓器
雙級(jí)減壓器(Two Stage Regulator)
氣體工業(yè)名詞,氣體經(jīng)兩次減壓到使用壓力。其流速和壓力穩(wěn)定性于單級(jí)減壓器。屬于純,防擴(kuò)散,金屬膜片結(jié)構(gòu);采用316L或黃銅材質(zhì);組裝前所有零部件均經(jīng)超聲波清洗;在100級(jí)潔凈室內(nèi)組裝,試驗(yàn)和包裝。包裝在充氮?dú)?經(jīng)0101Lm過濾器過濾)的雙層聚乙烯袋中。要求減壓器死體積小。入口壓力zui為21MPa;出口壓力為01007~015MPa,流量系數(shù)為0106,工作溫度為-40~175℃,內(nèi)表面光潔度為15~25Ra,內(nèi)漏1×10-9mLs(He);出口壓力升:入口壓力每升017MPa,則出口壓力上升7kPa。
單級(jí)減壓器(Single Stage Regulator)
氣體工業(yè)名詞,氣體經(jīng)一次減壓到使用壓力,由于壓比大,排氣壓力的穩(wěn)定性比雙級(jí)減壓器差,但結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,價(jià)格相對(duì)要一些。通常安裝在鋼瓶出口管上,適用于純氣體,有毒氣體,腐蝕性氣體。裝有20Lm過濾器,以保護(hù)提動(dòng)頭不受外部污染。與氣體接觸的部件全部采用316L不銹鋼,經(jīng)電化學(xué)拋光和鈍化處理,表面光潔度為15Ra。所有部件經(jīng)超聲波清洗,在100級(jí)潔凈室內(nèi)組裝,試驗(yàn)和包裝。每臺(tái)減壓器需單獨(dú)進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏,包裝在充氮?dú)獾碾p層聚乙烯袋中。進(jìn)口氣體壓力從負(fù)壓到2410MPa;排氣壓力為01007~015MPa,試驗(yàn)壓力為34MPa;流量系數(shù)(CV)為0109;工作溫度為-40~71℃;內(nèi)漏2×10-10mLs(He);外漏2×10-9mLs(入口壓力2MPa)。
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