當(dāng)前位置：山東利達(dá)信儀器儀表設(shè)備有限公司>>技術(shù)文章>>少子壽命測試儀LDX-100A的說明書
微波光電導(dǎo)載流子復(fù)合壽命測試儀/少子壽命測試儀 型號：LDX-100A
LDX-100A型微波光電導(dǎo)載流子復(fù)合壽命測試儀是參照半導(dǎo)體設(shè)備和材料組織SEMI標(biāo)準(zhǔn)MF1535-0707及國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T 26068-2010設(shè)計(jì)制造。并且我單位是微波反射法國家標(biāo)準(zhǔn)起草單位之一。本設(shè)備采用微波反射無接觸光電導(dǎo)衰退測量方法，適用于厚度為1mm以下的硅片、電池片少數(shù)載流子壽命的測量，提供無接觸、無損傷、數(shù)字顯示的快速測量。壽命測量可靈敏地反映半導(dǎo)體重金屬污染及缺陷存在的情況，是半導(dǎo)體質(zhì)量的重要檢測項(xiàng)目。
壽命測量范圍：0.25μs-10ms；樣品電阻率下限>0.5Ω·cm。
讀數(shù)方式：數(shù)字直讀。
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