ST-102E型探針測(cè)試臺(tái)（英文叫Prober station,中文又稱中測(cè)臺(tái),點(diǎn)測(cè)機(jī)。)、與測(cè)試儀器配接后可用于集成電路芯片及各種晶體管芯的電參數(shù)測(cè)試及功能調(diào)試，適用于科研、新品試制及小批量生產(chǎn)的中間測(cè)試。

技　術(shù)　指　標(biāo) ：

工作臺(tái)面	370mm*245mm
載物臺(tái)直徑	4"
可選二種放大倍數(shù)	14-90倍連續(xù)變倍； 17.5-112.5倍連續(xù)變倍；
監(jiān)視方式	顯微鏡和USB接口CCD攝像頭共存的監(jiān)視方式
光學(xué)參數(shù)	手輪調(diào)焦范圍：60mm；升降調(diào)焦范圍：200mm；
精密旋轉(zhuǎn)臺(tái)	粗調(diào)范圍：360°；微調(diào)范圍：±10°；Z小刻劃：1°；銅盤直徑：Φ85mm；絕緣盤直徑：Φ102mm
三維探針座	探針座X、Y、Z方向調(diào)節(jié)范圍：±3.25mm，分辨率±2μ；三維探針座在工作臺(tái)面可任意位置固定，由磁性開(kāi)關(guān)控制； Z多可布三維探針座6個(gè)；探針臂伸出長(zhǎng)度：60mm；探針長(zhǎng)度：40mm；
探針	探針材質(zhì)硬質(zhì)合金，針尖曲率半徑2μm；

標(biāo)準(zhǔn)配置：主工作臺(tái)、顯微鏡、USB接口CCD攝像頭、三維微調(diào)座2個(gè)、探針臂2支、探針2支。
可選配件：三維微調(diào)架、探針臂、探針、真空泵。

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探針測(cè)試臺(tái) 四探針測(cè)試臺(tái)ST-的用途

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