自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀/橢圓偏振測(cè)厚儀/測(cè)厚儀 

型號(hào)：LDX-TP-TPY-2

產(chǎn)品特點(diǎn)：

儀器采用消光法自動(dòng)測(cè)量薄膜厚度和折射率，具有精度高、靈敏度高以及自動(dòng)控制等特點(diǎn)。光源采用氦氖激光器，功率穩(wěn)定波長(zhǎng)精度高。

儀器采用USB接口與電腦連接，配套軟件功能齊全，具有多樣數(shù)據(jù)采集及處理方式，適用于不同用戶的需要。

規(guī)格與主要技術(shù)指標(biāo)：

測(cè)量范圍：薄膜厚度范圍1nm-4000nm     折射率范圍：1-10  

測(cè)量Z小示值：≤1nm                  入射角：20°- 90°精度≤0.05°

度盤刻度：每格1度                    允許樣品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤16mm

偏振器步進(jìn)角：0.014°/步               偏振器方位角范圍：0°- 180°   

測(cè)量膜厚和折射率重復(fù)性精度分別為：0.5nm和0.005

儀器測(cè)量精度：±0.5nm（薄膜厚度在10-100nm時(shí)）

光學(xué)中心高度：80mm  

成套性：主機(jī)、電控系統(tǒng)、USB接口、配套軟件（需配計(jì)算機(jī)）

主機(jī)重量：26kg    外形尺寸：680*390*310mm

裝箱單