流量計(jì)精度高、穩(wěn)定性好、適應(yīng)工作環(huán)境的能力大、智能化程度高、性價(jià)比高等性能指標(biāo)對(duì)社會(huì)各行業(yè)的發(fā)展有著重要影響。有許多類型的傳感器用于測(cè)量氣體流量，如截流流量傳感器、葉輪流量傳感器等，它們大多是通過(guò)采集流體的溫度、壓力等信號(hào)，然后將其轉(zhuǎn)換為流量。但是，氣體流動(dòng)狀態(tài)的不穩(wěn)定性，影響了流量測(cè)量的準(zhǔn)確性。直至熱式質(zhì)量流量傳感器的出現(xiàn)，才使流量傳感器的數(shù)量發(fā)生了革命，實(shí)現(xiàn)了對(duì)流體質(zhì)量流量的直接測(cè)量。并且測(cè)量值不會(huì)因溫度或壓力的波動(dòng)而失真，不需要對(duì)溫度和壓力進(jìn)行補(bǔ)償。
熱式氣體流量傳感器的發(fā)展與應(yīng)用發(fā)明的一種熱式
氣體質(zhì)量流量傳感器是熱線式氣體流量傳感器，它使用一根細(xì)小的帶加熱電流的線材，放置在流場(chǎng)中測(cè)量流體的速度、流量。數(shù)字化技術(shù)的發(fā)展，使得連續(xù)測(cè)量具有不可替代的*性，但是由于熱線式氣體流量傳感器受多種參數(shù)的影響，存在交叉靈敏度問題，因此影響其穩(wěn)定性和靈敏度，需要對(duì)流量和電信號(hào)之間的非線性對(duì)應(yīng)關(guān)系進(jìn)行補(bǔ)償。近幾十年來(lái)，隨著電子技術(shù)的迅速發(fā)展，各種補(bǔ)償技術(shù)不斷改進(jìn)，熱線式流量傳感器的精度大大提高，測(cè)量范圍也在擴(kuò)大。
但是，熱絲一致性差，不易批量生產(chǎn)；在測(cè)量低流速流體時(shí)，熱失調(diào)現(xiàn)象嚴(yán)重；熱絲耐污染能力差，價(jià)格高，容易損壞；測(cè)量中存在電子噪聲，使其響應(yīng)速度降低，限制了其進(jìn)一步發(fā)展。隨著微電子加工技術(shù)的發(fā)展和MEMS技術(shù)的興起，熱膜式氣體質(zhì)量流量傳感器成為當(dāng)前研究的熱點(diǎn)。作為熱線式氣體流量傳感器的改進(jìn)產(chǎn)品，熱膜式氣體流量傳感器由硅微加工技術(shù)制成，具有體積小、成本低、穩(wěn)定性好、兼容性強(qiáng)、精度高、功耗低、響應(yīng)時(shí)間短等優(yōu)點(diǎn)。
熱式氣質(zhì)流量傳感器的應(yīng)用范圍很廣：
一是鍋爐裂解爐燃燒器質(zhì)量流量的測(cè)量控制；
石油化工，石油開采，火炬氣質(zhì)量流量的測(cè)量；
燃燒爐的空氣質(zhì)量流量測(cè)量控制；燃機(jī)氫氣質(zhì)量流量及其控制；
四、食品加工和飲料的氣體質(zhì)量流動(dòng)與控制；
六、水廠氯的質(zhì)量流量控制；
半導(dǎo)體生產(chǎn)中高純氣體質(zhì)量流量的測(cè)量；
催化劑和化學(xué)添加劑的質(zhì)量流量測(cè)量；
泵的保護(hù)控制，泵的密封，潤(rùn)滑油池的檢漏；
9.控制空調(diào)系統(tǒng)；
儀表的質(zhì)量流量測(cè)量，如空氣，過(guò)程空氣，氮等。
熱膜式氣體質(zhì)量流量傳感器的原理及結(jié)構(gòu)。
根據(jù)傳熱和熱耗散原理，研制了一種熱膜式氣體質(zhì)量流量傳感器。在熱敏電阻表面上有氣體流動(dòng)時(shí)，會(huì)帶走一部分熱量，從而導(dǎo)致電阻值的變化，這個(gè)變化的數(shù)量與氣體的速度和溫度有關(guān)。
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