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行業(yè)產(chǎn)品

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上海尖豐光電技術(shù)有限公司


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Futurrex光刻膠,非光刻涂層-色譜柱

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地

聯(lián)系方式：周美玲查看聯(lián)系方式

更新時間：2020-09-03 21:29:42瀏覽次數(shù)：405次

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經(jīng)營模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：403條

所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：周美玲 （銷售經(jīng)理）

產(chǎn)品簡介

詳細介紹

光刻膠

產(chǎn)品型號：非光刻涂層

產(chǎn)品介紹：

非光刻涂層分為特別涂層PC3、旋涂玻璃SOG、旋涂摻雜涂層這三種。

A、特別涂層PC3

特別涂層PC3的應用是：平坦化層 – 轉(zhuǎn)移平坦層到下面的介電質(zhì)的刻蝕后加工過程；機械保護層 – 劃片和切割操作中；臨時粘合層。性質(zhì)是優(yōu)異的平坦化性能，厚度范圍是在0.5 ～ 20.0 μm，對生產(chǎn)的作用是在一些應用中省去化學機械拋光平坦化處理、刻蝕后加工處理時抑制微負載的影響、劃片時消除膜剝落和破裂的情況、在背部減薄和晶片分離后很容易在光膠去除劑RD3或RD6中去除。

B、旋涂玻璃：SOG

旋涂玻璃SOG的應用是在多層金屬加工中作為介電質(zhì)一部分的平滑層和保護層，在三層光膠加工中的中間層。性質(zhì)是固化之后設備可應用的膜硬度、厚度范圍是在0.15 ～ 0.55 μm、對生產(chǎn)的作用是在一些應用中省去化學氣相沉積（CVD）二氧化硅、在多層金屬加工處理中省去費時的填充狹窄溝槽的SiO2沉積和凹蝕、在為薄膜磁性頭制作的基板制備中省去拋光。

旋涂玻璃

ICI-200

0.17μm ～ 0.20μm

DC4-500

0.45μm ～ 0.55μm

C、旋涂摻雜涂層

旋涂摻雜涂層應用是在旋涂硼、旋涂磷、旋涂鋅；其性質(zhì)是透明薄膜通過O2 Plasma轉(zhuǎn)化為固態(tài)摻雜。其對生產(chǎn)作用是省去摻雜的旋涂玻璃、在一些應用中省去離子植入、省去ampoule中鋅摻雜。

旋涂摻雜涂層

涂層

類型

BDC1-2000

硼摻雜涂層

PDC1-2000

磷摻雜涂層

ZPDC2-2000

鋅摻雜涂層


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