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正性光刻膠,Futurrex正性光刻膠-色譜柱

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更新時間：2020-09-03 21:35:43瀏覽次數(shù)：724次

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正性光刻膠

品牌：futurrex?

正性光刻膠分為粘性增強正性光刻膠。粘度增強正膠的應(yīng)用是濕刻、反應(yīng)離子束刻蝕、離子植入、電鍍。

正性光刻膠
光刻膠型號 PR1-1000A PR1-2000A PR1-4000A PR1-12000A	厚度 0.7μm - 2.1μm 1.4μm - 4.2μm 2.8μm - 15.0μm 11.8μm - 24.5μm
耐溫性能< 130°C

應(yīng)用

正性光刻膠的粘附性良好，可用于干法刻蝕/濕法刻蝕/電鍍/離子注入.

正性光刻膠PR1-4000A的典型側(cè)壁輪廓
厚度 = 10μm

正性光刻膠用顯影液（用于正性光刻膠的水性顯影液）:
常用光刻膠
厚度范圍:	0.7 - 3 微米
性能:	無需使用增粘劑有效抑制反射凹痕消除光敏劑升華，防止烘培中堵塞排氣管路良好的分辨率 . 曝光時間短 . 顯影時間短. 良好的耐溫性 . 易于用RR4去膠液去除 . 常溫下可儲存1年 .
應(yīng)用 :	蝕刻，離子注入，金屬電鍍工藝制造: 集成度路微系統(tǒng) 平板顯示高密度封裝

厚膜光刻膠
厚度范圍:	3 - 25 微米
性能:	良好的分辨率 . 光刻速度快，有利于提高曝光效率. 顯影時間短. 在離子刻蝕制程中有良好的選擇性 . 易于用RR4去膠液去除. 常溫下可儲存1年.
應(yīng)用:	金屬電鍍，離子注入工藝制造集成電路微系統(tǒng) 平板顯示高密度封裝

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