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北京北方華瑞自動(dòng)化科技有限公司

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3200系列高等級(jí)質(zhì)量流量控制器

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北京北方華瑞自動(dòng)化科技有限公司

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【設(shè)計(jì)特點(diǎn)】- 高精度控制- 全316L結(jié)構(gòu)- 高性價(jià)比【產(chǎn)地】:日本【產(chǎn)品尺寸圖】

詳細(xì)介紹

【關(guān)聯(lián)產(chǎn)品】 - GFM氣體質(zhì)量流量計(jì)/GFC質(zhì)量流量控制器 - -

【概述/特點(diǎn)】
KOFLOC公司簡(jiǎn)介: 日本Kofloc公司是一家專業(yè)制造質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器的廠家,在有廣泛的銷售和應(yīng)用.該公司產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,LCD,燃燒,實(shí)驗(yàn)室分析,生物工藝等場(chǎng)合.
【技術(shù)規(guī)格】
3200系列高等級(jí)質(zhì)量流量控制器適用于半導(dǎo)體、LCD、燃燒、分析、生物工藝等方面實(shí)現(xiàn)高精度的快速控制流量范圍：10～500SCCM，1～5SLM，10～20SLM 控制閥：常閉，電磁隔膜閥控制范圍：2～FS 反應(yīng)時(shí)間：0～，小于等于1秒精度：±1%以內(nèi) 線性：±0.5%以內(nèi) 重復(fù)性：±0.2%以內(nèi) 使用壓差：范圍≤5SLM時(shí)，49～294KPA， 5SLM <范圍≤20SLM時(shí)，98～294KPA 壓力限制：980KPA 泄露率：1 × 10–8 Pa?m3/second 或更小操作溫度：0～50°C 接觸介質(zhì)的材質(zhì)：本體: SUS316L 隔膜: SUS316 閥座: PTFE 密封材料: Byton TM (可選: 氯丁橡膠) 連接：1/4SWL，可選1/8SWL，1/4VCR和1/4RC 電氣連接：9針插座控制信號(hào)：0-5VDC ]輸出信號(hào)：0-5VDC 電源：+15 VDC (±5%) 100 mA ， –15 VDC (±5%) 200 mA

如需以上產(chǎn)品幫助，請(qǐng)致電本公司銷售部或技術(shù)部。我們將竭誠(chéng)為您服務(wù)！

關(guān)鍵詞：氣體質(zhì)量流量計(jì) 質(zhì)量流量控制器質(zhì)量流量計(jì) 流量控制器控制閥

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