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日本工程師（ENGINEER）鑷子 PTZ-01

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日本工程師(ENGINEER)鑷子 PTZ-01
型號(hào)：PTZ-01
超高純度cvd - sic單體*位，非磁性，耐蝕、抗高溫等特性，使用方便

日本工程師（ENGINEER）鑷子 PTZ-01
型號(hào)：PTZ-01
超高純度cvd - sic單體*位，非磁性，耐蝕、抗高溫等特性，使用方便

zui大6インチウェハーまで保持できます。

交換用　SiC先端

PTZ-90（別売）　￥29,400（稅抜き）

　■クリーンパック
　PTZ-01は超純水による洗浄後、
クリーンパックされております。
（保証値　クラス100～1000相當(dāng)）

ご注意

SiC単體は非常に脆いので、ご使用中だけでなく、保管?洗浄、
運(yùn)搬中における先端の保護(hù)にも充分ご注意下さい。
先端が破損した場(chǎng)合には、本體ごと返送下さい。
先端のみの取替えも可能です。

真空蒸著（CVD）法による不純物ppbレベルの超高純度SiC（炭化ケイ素）を先端ビットに裝著した畫(huà)期的な製法によるシリコンウェハー専用ピンセット。
従來(lái)のステンレス製ピンセットの重大な欠點(diǎn)であったシリコンウェハーへの重金屬?zèng)A染が全くありません。
耐薬品性と耐熱性に極めて優(yōu)れ、弗硝酸等によるウェハー洗浄工程での使用も可能です。
軽量（ρ＝3.8）、非磁性、耐摩耗性に優(yōu)れる等の特徴もあります。
ピンセット本體は、耐蝕性、非磁性、軽量等の特性を備えたチタニウムです。全長(zhǎng)150㎜

■特性

項(xiàng)　　目	特性値
密　度　?。╧g/M3）	3.21×10³
曲げ強(qiáng)度※ （kgf/mm²）	80
引張り強(qiáng)度※ （kgf/mm²）	60
ヤング率　（kgf/mm²）	50,000
硬　さ　?。╧gf/mm²）	HK:3,500
線(xiàn)膨張係數(shù)（I/℃）	4.5×10^-6
熱伝導(dǎo)率※ （cal/cm?s?℃）	0.16
比抵抗　?。?Omega;?m）	10²

（※）室溫での値

■耐蝕性

雰囲気	溫　度	時(shí)　間	重量変化
6N HCI	沸點(diǎn) （110℃）	1470h	認(rèn)められず
9N HNO₃	沸點(diǎn) （116℃）	1470h
19N H₂SO₄	沸點(diǎn) （128℃）	1470h
弗硝酸?17%HF?83%HNO₃	室溫	532h
王水	80℃	186h
大気中	1500℃	146h
HCIガス	1200℃	25h

■不純物含有量

元素	濃度（単位：ppb）
Cu	＜100
K	＜60
Mo	＜40
Fe	35
Cr	26
Zn	9
Mn	9
W	＜ 4
Na	＜ 2
Co	1.3
La	0.8
Ag	0.8
Hf	0.32
Au	＜0.09
Sc	＜0.01

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