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供應(yīng)九州空間 JZ-RTS8型數(shù)字式四探針測試儀

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更新時間：2018-05-15 15:31:25瀏覽次數(shù)：237次

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產(chǎn)品名稱：供應(yīng)九州空間 JZ-RTS8型數(shù)字式四探針測試儀 產(chǎn)品品牌：九州空間 報價：32000元
JZ-RTS8型數(shù)字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計的，于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）的儀器。
????儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果。
????儀器采用了電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點。
????本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。
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? ??JZ-RTS8型四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進(jìn)行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計分析。
????測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析
技　術(shù)　指　標(biāo)?：
?

?測量范圍

?電阻率：10-5～105?Ω.cm（可擴(kuò)展）； ?
?方塊電阻：10-4～106?Ω/□（可擴(kuò)展）；?
?電導(dǎo)率：10-5～105?s/cm；?
?電阻：10-5～105?Ω；?

可測晶片直徑

?140mmX150mm（配S-2A型測試臺）；
?200mmX200mm（配S-2B型測試臺）；
?400mmX500mm（配S-2C型測試臺）；

恒流源

?電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表

?量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　
?分辨力：10μV；
?輸入阻抗：>1000MΩ；
?精度：±0.1% ；
?顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動顯示；

四探針探頭基本指標(biāo)

?間距：1±0.01mm；
?針間絕緣電阻：≥1000MΩ；?
?機械游移率：≤0.3%；
?探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
?探針壓力：5～16 牛頓（總力）；

四探針探頭應(yīng)用參數(shù)

?（見探頭附帶的合格證）

模擬電阻測量相對誤差
（ 按JJG508-87進(jìn)行）

?0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字

整機測量zui大相對誤差

（用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測試）≤±5%

整機測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度

?≤5%

計算機通訊接口

?并口，高速并行采集數(shù)據(jù)，連接電腦使用時采集數(shù)據(jù)到電腦的時間只需要1.5 ?秒（在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程檔時）。連接電腦使用時帶自動測量功 ?能，自動選擇適合樣品測試電流量程；

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境

?溫度：23±2℃；
?相對濕度：≤65%；
?無高頻干擾；
?無強光直射；

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