一、百級(jí)無(wú)塵烘箱百級(jí)無(wú)塵干燥箱百級(jí)無(wú)塵烤箱百級(jí)潔凈烘箱百級(jí)潔凈烤箱百級(jí)潔凈干燥箱簡(jiǎn)介

WCX系列無(wú)塵烘箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén)；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

二．百級(jí)無(wú)塵烘箱百級(jí)無(wú)塵干燥箱百級(jí)無(wú)塵烤箱百級(jí)潔凈烘箱百級(jí)潔凈烤箱百級(jí)潔凈干燥箱特點(diǎn)：

1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 100

2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵；

3.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國(guó)進(jìn)口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(mén)(定制的風(fēng)道設(shè)計(jì))方向送風(fēng)，過(guò)濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門(mén))

4.強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場(chǎng)分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到較佳溫度控制精度。

三．百級(jí)無(wú)塵烘箱百級(jí)無(wú)塵干燥箱百級(jí)無(wú)塵烤箱百級(jí)潔凈烘箱百級(jí)潔凈烤箱百級(jí)潔凈干燥箱產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)：

1.主要技術(shù)指標(biāo)：

無(wú)塵等級(jí)：Class 100;                   溫度范圍： 60～ +300℃；

溫度均勻度：200℃±4℃;             溫度波動(dòng)度：±0.5℃（空載）        

溫控精度：±0.1℃;                        工作尺寸：W800×D600×H1300        

電源：380v , 50Hz，15KW         網(wǎng)板：2塊（高度可調(diào)節(jié))

2、百級(jí)無(wú)塵烘箱百級(jí)無(wú)塵干燥箱百級(jí)無(wú)塵烤箱百級(jí)潔凈烘箱百級(jí)潔凈烤箱百級(jí)潔凈干燥箱箱體結(jié)構(gòu)：

烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風(fēng)道系統(tǒng)組裝而成，結(jié)構(gòu)合理，外觀美觀大方；

箱體材料：外箱采用SUS304 ，1.5mm之拉絲不銹鋼，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，可防止微塵；

內(nèi)膽材料：采用優(yōu)良SUS304，2.0mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE；

中桶材料：采用優(yōu)良SUS304，2.0mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污及氬焊密封加工(防污染)。

3、溫控系統(tǒng)：

采用智能微電腦溫度控制器，控制器LED數(shù)字顯示及設(shè)定、PID自動(dòng)演算、薄膜設(shè)定，準(zhǔn)確度±0.3%FS。；

訊號(hào)來(lái)源：采用PT100熱電阻±0.5%。

輸出被控制組件：SSR無(wú)接點(diǎn)訊號(hào)輸出。

4、*的安全保護(hù)措施：

漏電斷路器、     控制線路保險(xiǎn)絲裝置、 超溫防止保護(hù)裝置、 電熱過(guò)電流保護(hù)裝置、

馬達(dá)過(guò)電流保護(hù)、 機(jī)臺(tái)異常蜂鳴器警示   逆向防止器、門(mén)面安全開(kāi)關(guān)