產(chǎn)品描述：

該系統(tǒng)采用FJ-620/FJ-500F型系列復(fù)合分子泵機(jī)組，是由F160/620系列各性能復(fù)合分子泵或FF-160/500F系列復(fù)合分子泵，前級(jí)抽氣泵，隔斷放氣閥，前級(jí)管路，斷水保護(hù)器，分子泵電源、高真空檢測系統(tǒng)（復(fù)合真空計(jì)），控制電源等組裝于機(jī)架上而成的清潔真空獲得設(shè)備。安裝方便，操作簡單，易于聯(lián)接，性能可靠，可廣泛用于表面分析，加速器技術(shù)，半導(dǎo)體設(shè)備，等離子體技術(shù)，電真空器件的制造及真空技術(shù)各領(lǐng)域。

技術(shù)參數(shù)：

1.環(huán)境溫度：5~32℃

2.空氣相對(duì)濕度≦80%

3.工作電壓：220V±10%  50~60HZ

4.功率：1KW

5.系統(tǒng)極限真空度：1.0X10-4Pa

6.TRP-24前級(jí)泵：抽氣速率：6L/S

7.FJ-620分子泵：抽氣速率（對(duì)空氣）：600L/S

8.進(jìn)氣口法蘭：DN160LF排氣口法蘭：KF40

9.建議啟動(dòng)壓強(qiáng)：＜100 Pa

10.極限壓強(qiáng)：6×10-6Pa

11.ZDF-III復(fù)合真空計(jì)：規(guī)管型號(hào)：ZJ-53B/ZJ-54D短絲熱偶規(guī)

測量范圍：400～1×10 -1  Pa

測量路數(shù)：2路

反應(yīng)時(shí)間：<3S

控制范圍：100～1×10 -1 Pa

控制路數(shù)：4路可擴(kuò)展至8路

控制方式：繼電器觸點(diǎn)輸出，負(fù)載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負(fù)載

電源： 220V ± 10% 50Hz

功耗： 25W

12.波紋管：KF40X1000

13.真空電磁擋板閥：KF40