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RTL1200-PECVD轉(zhuǎn)動式PECVD系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地天津市

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更新時間:2025-12-09 08:33:23瀏覽次數(shù):44次

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本公司生產(chǎn)的KF、TL、RTL、VTL、CVD、PECVD、GF、VF、SJF、VSF系列電阻爐均采用雙層殼體結(jié)構(gòu),標(biāo)配30段程序控溫系統(tǒng),爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng),能快速升降溫

本公司生產(chǎn)的KF、TL、RTL、VTL、CVD、PECVD、GF、VF、SJF、VSF系列電阻爐均采用雙層殼體結(jié)構(gòu),標(biāo)配30 段程序控溫系統(tǒng),爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng),能快速升降溫。該爐具有溫場均衡、表面溫度低、 升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點,是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、質(zhì)量檢測用的理想產(chǎn)品。


全系列電阻爐組件配置:


一、控溫儀表: 采用宇電程序控溫儀表。(可選配日本島電,英國歐陸等進(jìn)口品牌)

1、30段程序控溫智能PID調(diào)節(jié)。(可選配50段程序儀表或液晶觸摸屏儀表)

2、具有過溫保護、斷偶保護,過溫或斷偶時電爐加熱電路會自動切斷,(當(dāng)電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時,主電路上的交流繼電器會自動斷開,主電路斷開,面板上ON燈熄滅,OFF燈亮,有限的保護電爐)。

3、帶有485通訊接口(選購軟件時標(biāo)配)

4、具有斷電保護功能,即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。

5、儀表具有溫度自整定的功能。


二、開門保護系統(tǒng):該爐安裝有行程開關(guān),當(dāng)爐蓋打開時會自動切斷電源,有效地保證使用者。  


三、爐膛材料: 采用氧化鋁多晶纖維材料,不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡,抗熱漲冷縮能力強。


四、加熱元件:  采用優(yōu)良的加熱元件, 溫場均衡、使用壽命長。      


五、漏電保護功能: 該爐裝了漏電空氣開關(guān),當(dāng)爐體漏電或電流超過額定電流時空開會自動關(guān)閉以切斷電源。


六、軟件控制系統(tǒng)(選購):該爐配有通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù),并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況,爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出,并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來,隨時可以調(diào)出。


七、控制系統(tǒng):1、電器:正泰,   2、可控硅:德國西門康106/16E,  3 觸發(fā)器:移相觸發(fā)。


八、選配件:1、50段程序控溫,   2、液晶觸摸屏控制器或進(jìn)口溫度控制器      3、爐膛尺寸可定做    


4、可增加進(jìn)氣、排氣閥門   5、爐膛材料可選進(jìn)口材料   6、可選UL認(rèn)證電器板  


7、電器部分可選配ABB產(chǎn)品  8、可根據(jù)客戶需求定做各種非標(biāo)型號產(chǎn)品


產(chǎn)品描述:


這款轉(zhuǎn)動式PECVD系統(tǒng)可360度旋轉(zhuǎn)和0-30度傾斜,管內(nèi)壁有石英擋片幫助材料翻轉(zhuǎn)有助于燒結(jié)或鍍膜更加均勻。爐膛采用日本進(jìn)口氧化鋁纖維材料。


技術(shù)參數(shù):


1.型號:RTL1200-PECVD              


2.爐管尺寸:Dia 60(OD)X1400mm


3.加熱元件:瑞典Kanthal-A1電阻絲    

4.功率:3.5KW


5.額定溫度:1100℃  

6.高溫度:1200℃  

7.熱電偶:K型                        

8.加熱段:440mm  

9.轉(zhuǎn)動電機功率:40W          


10.爐子傾斜角度:-10~30度    


11.轉(zhuǎn)動密封方式:采用轉(zhuǎn)動磁流體密封


12.視頻電源:功率輸出范圍0-500W


13.更大反射功率:10W                  

14.射頻電信號頻率: 13.56MHZ±0.005%


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