多路質(zhì)子控制供氣系統(tǒng)描述：

氣體從鋼瓶出來，經(jīng)過減壓閥減壓，通過管道到供氣系統(tǒng)的入口，再經(jīng)過質(zhì)子流量計(jì)控制氣體流量，然后經(jīng)過混氣罐，再進(jìn)入爐子進(jìn)氣口，氣體從出氣管出來，經(jīng)過三通閥門，一端連接真空泵，一端連接出氣口。混氣罐上接有壓力表，壓力表顯數(shù)盤與質(zhì)子流量計(jì)安裝在同一面板上。每一條氣體管路均有一個(gè)高壓截止閥。

多路質(zhì)子控制供氣系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)：

1.氣路通道：多通道（可根據(jù)客戶需要確定）

2.流量計(jì)標(biāo)準(zhǔn)量程：5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM(可以任意選擇量程)

3.工作電壓：220V 50HZ

4.工作溫度：5-45℃

5.工作壓差：0.1~0.5MPa

6.額定壓力：3MPa

7.準(zhǔn)確度：±1.5%F.S.

8.控制面板：每路氣路設(shè)定和查看都集中在PLC觸摸屏上可通過PLC設(shè)定每個(gè)通道的氣體流量，實(shí)時(shí)查看各通道的流量曲線和設(shè)定數(shù)據(jù)

9.測(cè)量范圍：0.1MPa-0.15MPa

10.混氣罐：304不銹鋼

11.進(jìn)出氣接口：采用Φ6不銹鋼卡套接頭

12.連接管道：內(nèi)部連接管道為1/4"不銹鋼管 外部通氣管道為1/4"聚四氟管