維易科 dektak 8 臺階儀-華東代理 價格 規(guī)格 用途 詳細(xì)說明：
儀器簡介：
dektak 8臺階式探針輪廓儀，結(jié)構(gòu)緊湊，可提供很高的重復(fù)性和精度。*的x–y方向定位系統(tǒng)可移動到8 x 8 inch區(qū)域的任何位置。它不僅能測量臺階高度和表面紋理，還能測量金屬蝕刻速率的均勻性、焊點高度、纖維光學(xué)元件和顯微透鏡。全程程序控制的dektak 8系統(tǒng)對于mems，納米技術(shù)和半導(dǎo)體應(yīng)用都非常方便。

技術(shù)參數(shù)：
臺階高度重復(fù)性: 7.5å,1σ在1um標(biāo)準(zhǔn)臺階上
zui大晶圓尺寸：200mm
zui大樣品厚度：25.4mm （1 in.）
每次掃描數(shù)據(jù)點：zui多可達(dá)60，000數(shù)據(jù)點
掃描長度范圍：標(biāo)配zui大50mm
垂直范圍：標(biāo)配262um；可選1mm
zui大垂直分辨率：1å （6.55微米垂直范圍下）

主要特點：
1. 臺階高度測量重復(fù)性高
2. 是功能zui為*的探針輪廓儀，可zui大限度的滿足各種應(yīng)用需要
3. 簡單易用
4. 作為一款桌面型輪廓儀，掃描范圍可達(dá)200mm