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更新時(shí)間:2018-05-15 14:01:26瀏覽次數(shù):826次
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技術(shù)參數(shù)
x 軸
測(cè)量范圍: 100mm 或 200mm
分辨率: 0.05μm
檢測(cè)方法: 反射型線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度: 80mm/s 和手動(dòng)
測(cè)量速度: 0.02 - 5mm/s
移動(dòng)方向: 向前/向后
直線度: 0.8μm/100mm, 2μm/200mm
* 當(dāng)x 軸在水平方向上
指示精度: ±(1+0.01l)μm (cv-3100s4, h4, w4)
(20° c 時(shí)) ±(0.8+0.01l)μm (cv-4100s4, h4, w4)
±(1+0.02l)μm (cv-3100s8, h8, w8)
±(0.8+0.02l)μm (cv-4100s8, h8, w8)
* l 為驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度(mm)
傾斜范圍: ±45°
z2 軸(立柱)
垂直行程: 300mm 或 500mm
分辨率: 1μm
檢測(cè)方法: absolute 線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度: 0 - 20mm/s 和手動(dòng)
z1 軸 (檢測(cè)器)
測(cè)量范圍: ±25mm
分辨率: 0.2μm (cv-3100), 0.05μm (cv-4100)
檢測(cè)方法: 線性編碼器(cv-3100),
激光全息測(cè)微計(jì) (cv-4100)
指示精度: ±(2+i4hi/100)μm (cv-3100)
(20° c 時(shí)) ±(0.8+i2hi/100)μm (cv-4100)
*h 為水平位置上的測(cè)量高度 (mm)
測(cè)針上/下運(yùn)作: 弧形運(yùn)動(dòng)
測(cè)針?lè)较? 向上/向下
測(cè)力: 30mn
跟蹤角度: 向上:77°、向下: 87°
(根據(jù)表面粗糙度,使用標(biāo)準(zhǔn)單切面測(cè)針)
測(cè)針針尖 半徑: 25μm、硬質(zhì)合金針尖
基座尺寸(w x h):750 x 600mm 或 1000 x 450mm
基座材料: 花崗巖
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