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microvu影像儀-vertex/excel總代詳細(xì)說明：
micro-vu 影像測(cè)量系統(tǒng)

micro-vu sol半自動(dòng)影像儀
量測(cè)行程 160x160x160mm
xy 精度 u=（2.8+l/150）μm
z 精度 u=（2.8+l/100）μm
xy 重現(xiàn)性 u=2.8μm

micro-vu vertex 系列全自動(dòng)影像儀
型號(hào) vertex251 vertex12x12
xy 精度 uxy=2.0+l/250 uxy=2.6+l/175
z 精度 ux=2.5+l/150 ux=3.0+l/150
xy 重現(xiàn)性 2.0μm 2.5μm
z 重現(xiàn)性 2.0μm 2.0μm

micro-vu excel 系列全自動(dòng)影像儀
excel 1600
型號(hào) excel 1601 um/uc excel 1602 um/uc excel 1604 um/uc
量測(cè)行程 1050 x 1650 x 160mm 1050 x 1650 x 250mm 1050 x 1650 x 400mm
外形尺寸 1720 x 2600 x 1650mm 1720 x 2600 x 1850mm 1720 x 2600 x 2000mm
重量 3450kg 3500kg 3600kg
光學(xué)尺分辨率 0.1μm
xy 精度,e2 3.3 + l/300 3.6 + l/300 4.3 + l/200
z 精度,e1 2.8 + l/100 3.3 + l/100 3.8 + l/100

micro-vu excel 1050
型號(hào) excel 1051 um/uc excel 1052 um/uc excel 1054 um/uc
量測(cè)行程 1050 x 1050 x 160mm 1050 x 1050 x 250mm 1050 x 1050 x 400mm
外形尺寸 1720 x 2000 x 1650mm 1720 x 2000 x 1850mm 1720 x 2000 x 2000mm
重量 2700kg 2750kg 2850kg
光學(xué)尺分辨率 0.1μm
xy 精度,e2 3.3 + l/300 3.6 + l/300 4.3 + l/200
z 精度,e1 2.8 + l/100 3.3 + l/100 3.8 + l/100

micro-vu excel 650
型號(hào) excel651um excel651uc excel652um excel652uc excel654um excel654uc
測(cè)量行程 650x650x160mm 650x650x250mm 650x650x400mm
xy 精度 uxy=2.5+l/300μm uxy=2.8+l/300μm uxy=3.2+l/300μm
z 精度 ux=2.5+l/150μm ux=3.0+l/150μm ux=3.5+l/150μm
xy 重現(xiàn)性 2.5μm 2.8μm 3.2μm
z 重現(xiàn)性 2.5μm 3.0μm 3.5μm

excel 500
型號(hào) 501 um / 501 uc 502 um / 502 uc
量測(cè)行程 400 x 500 x 160 mm 400 x 500 x 250 mm
xy 精度 2.5 + l/200 2.8 + l/200
z 精度 2.5 + l/100 3.0 + l/100

excel 1650/1200/1250
型號(hào) excel1651um/uc excel1652um/uc excel200u excel250u
量測(cè)行程 1250x1650x160mm 1250x1650x250mm 2000x1250x200mm 2500x1600x200mm
xy 精度 4.0+l/300μm 4.05+l/300μm [5.5+l（mm）/300]μm [5.5+l（mm）/300]μm
z 精度 2.8+l/150μm 3.0+l/150μm 3.0+l/150μm 3.0+l/150μm

spectra 投影儀
型號(hào) spectra bench optical spectra floor optical
量測(cè)行程 300x150x75mm 300x150x75mm
xy 精度 ux=2.5+l/25μm ，uy=2.5+l/15μm
z 精度 u=2.5 μm
xy 重現(xiàn)性 12.5μm
z 重現(xiàn)性 7.5μm