安裝

雷尼紹自動吸附：ph10m、ph10mq或ph6m
可安裝在自動吸附加長桿上

適合的接口

可以是：ucc控制器
或：用于未安裝ucc控制器的機器的ac3計算機接口卡

測頭屬性

三軸模擬測量 （x, y, z）
在xy平面的旋轉(zhuǎn)運動，z方向有平移

sm25-5：在三個軸xyz方向均有平面平移

測量范圍

在x、y和z方向為±0.5 mm

sm25-5：±0.3 mm

超程范圍

在x和y方向為±2.0 mm
+z方向為1.7 mm
–z方向為1.2 mm

sm25-5：
±x, ±y = 0.95 mm
+z = 1.0 mm
-z = 1.1 mm

碰撞保護

x, y, –z — 模塊或測針架折斷
+z — 內(nèi)置緩沖塊設計

分辨率

使用ucc2子卡或ac3接口卡時< 0.1 µm

彈簧剛性

標稱值為0.2 n/mm到0.6 n/mm，取決于測針長度

減振

單個粘性流體減振器

sm25-5：兩個粘性流體減振器

電源

測頭為+12 v （±5%）、–12 v （+10% / –8%）、+5 v （+10% / –13%） 直流電

輸出 （x,y,z）

非線性及非正交模擬輸出 — 速率、增益和分辨率不固定
sp25m要求使用非線性三次多項式標定。

測針系列

m3