一. LICS-300H 激光多普勒干涉儀主要測量功能：

1.   直線位移測量

1)    測量數(shù)控軸系直線運動的定位精度和重復定位精度。簡稱數(shù)控

機床定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量。又稱：線性 測量，直線測量等。

2. LICS-300H 激光多普勒干涉儀 靜態(tài)測量和動態(tài)測量

1)    靜態(tài)測量：如直線位移測量，每到測量點被測機床都要停止運 動，等待儀器采樣。2)    動態(tài)測量：在測量過程中被測機床始終處于運動狀態(tài)中，也就 是在運動過程中進行位移數(shù)據(jù)的采集。3)    機床在做二軸插補運動時：位移、速度、加速度的測量。4)    圓形運動軌跡測量。

3.    直線度 、垂直度測量功能

1)    直線度測量（用四象限儀測量）

A.    測量直線軸在運動過程中的上下直線度誤差。

B.    測量直線軸在運動過程中的水平直線度誤差。

2)    垂直度測量。

A.    測量二直線軸的垂直度誤差。

B.    測量二直線軸的平行度誤差。

LQ-200直線度測量原理

1)    四象限儀工作原理

當激光束照在象限儀中心，象限儀上感應器 1、2、3 及 4的電流輸出是相同的，然而當象限儀偏左的時候，感應器 1 及 2的輸出會比 3 及 4 的輸出還大；同理，當象限儀偏上方的時候，感應器 2 及 3 的輸出則會比 1 及 4 的輸出還大。3)    LS-200光學直角（五角棱鏡）的光學特性 在忽略棱鏡制造誤差情況下，當入射光平行于主截面入射到五角棱鏡后，出射光也將平行于主截面、并與入射光嚴格成 90度。4)    LS-200光學直角（五角棱鏡）的功能在垂直度測量中，當*軸測量結束以后，裝上五角棱鏡 將激光束旋轉(zhuǎn) 90 度，來測量第二軸。

5)    直線度測量原理

A.    在真空中激光束是一條嚴格的直線，在空氣中由于氣流作 用，激光束近似成一條直線。所以對測量時的環(huán)境氣流要 求較高！

B.    將激光束與被測導軌調(diào)成平行，將激光束作為測量的基準 軸，在導軌運動過程中用四象限儀分段逐點分別讀出在上 下、左右的偏差值。

C.    用zui小二乘法原理就可以擬合出導軌運動的理想直線和導 軌運動過程中的上下和左右方向的直線度誤差。

6)    垂直度測量原理

A.    垂直度測量分二個過程。首先測出*軸的“理想”直線和 導軌運動過程中的直線度誤差。

B.    在*軸測量結束后，裝上五角棱鏡(光學直角)，將激光 束旋轉(zhuǎn) 90 度與需測量垂直度的第二軸平行。測量出第二軸

           C.    軟件計算出*軸和第二軸的垂直度誤差。

      D.    垂直度測量示意圖：

      E.    測量二直線軸的平行度誤差。

4)    作為精密平臺的長度基準器。

二. 主要技術指標

三. （標準配置）成套性明細表

四. LICS-300H 測量軟件對直線位移測量數(shù)據(jù)可按以下標準進行分析

和型號(該部份軟件為選購附件)：