一. LICS-300H 激光多普勒干涉儀主要測量功能：

1.   直線位移測量

1)    測量數(shù)控軸系直線運(yùn)動(dòng)的定位精度和重復(fù)定位精度。簡稱數(shù)控

機(jī)床定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量。又稱：線性 測量，直線測量等。

2. LICS-300H 激光多普勒干涉儀 靜態(tài)測量和動(dòng)態(tài)測量

1)    靜態(tài)測量：如直線位移測量，每到測量點(diǎn)被測機(jī)床都要停止運(yùn) 動(dòng)，等待儀器采樣。2)    動(dòng)態(tài)測量：在測量過程中被測機(jī)床始終處于運(yùn)動(dòng)狀態(tài)中，也就 是在運(yùn)動(dòng)過程中進(jìn)行位移數(shù)據(jù)的采集。3)    機(jī)床在做二軸插補(bǔ)運(yùn)動(dòng)時(shí)：位移、速度、加速度的測量。4)    圓形運(yùn)動(dòng)軌跡測量。

3.    直線度 、垂直度測量功能

1)    直線度測量（用四象限儀測量）

A.    測量直線軸在運(yùn)動(dòng)過程中的上下直線度誤差。

B.    測量直線軸在運(yùn)動(dòng)過程中的水平直線度誤差。

2)    垂直度測量。

A.    測量二直線軸的垂直度誤差。

B.    測量二直線軸的平行度誤差。

LQ-200直線度測量原理

1)    四象限儀工作原理

當(dāng)激光束照在象限儀中心，象限儀上感應(yīng)器 1、2、3 及 4的電流輸出是相同的，然而當(dāng)象限儀偏左的時(shí)候，感應(yīng)器 1 及 2的輸出會(huì)比 3 及 4 的輸出還大；同理，當(dāng)象限儀偏上方的時(shí)候，感應(yīng)器 2 及 3 的輸出則會(huì)比 1 及 4 的輸出還大。3)    LS-200光學(xué)直角（五角棱鏡）的光學(xué)特性 在忽略棱鏡制造誤差情況下，當(dāng)入射光平行于主截面入射到五角棱鏡后，出射光也將平行于主截面、并與入射光嚴(yán)格成 90度。4)    LS-200光學(xué)直角（五角棱鏡）的功能在垂直度測量中，當(dāng)*軸測量結(jié)束以后，裝上五角棱鏡 將激光束旋轉(zhuǎn) 90 度，來測量第二軸。

5)    直線度測量原理

A.    在真空中激光束是一條嚴(yán)格的直線，在空氣中由于氣流作 用，激光束近似成一條直線。所以對測量時(shí)的環(huán)境氣流要 求較高！

B.    將激光束與被測導(dǎo)軌調(diào)成平行，將激光束作為測量的基準(zhǔn) 軸，在導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)過程中用四象限儀分段逐點(diǎn)分別讀出在上 下、左右的偏差值。

C.    用zui小二乘法原理就可以擬合出導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)的理想直線和導(dǎo) 軌運(yùn)動(dòng)過程中的上下和左右方向的直線度誤差。

6)    垂直度測量原理

A.    垂直度測量分二個(gè)過程。首先測出*軸的“理想”直線和 導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)過程中的直線度誤差。

B.    在*軸測量結(jié)束后，裝上五角棱鏡(光學(xué)直角)，將激光 束旋轉(zhuǎn) 90 度與需測量垂直度的第二軸平行。測量出第二軸

           C.    軟件計(jì)算出*軸和第二軸的垂直度誤差。

      D.    垂直度測量示意圖：

      E.    測量二直線軸的平行度誤差。

4)    作為精密平臺(tái)的長度基準(zhǔn)器。

二. 主要技術(shù)指標(biāo)

三. （標(biāo)準(zhǔn)配置）成套性明細(xì)表

四. LICS-300H 測量軟件對直線位移測量數(shù)據(jù)可按以下標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行分析

和型號(hào)(該部份軟件為選購附件)：