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微位移測(cè)量系統(tǒng)相較于其他傳感器的優(yōu)勢(shì)

閱讀:406發(fā)布時(shí)間:2018-3-27

    微位移測(cè)量系統(tǒng)作為一種非接觸式的,能夠測(cè)量微小相對(duì)位移、微振動(dòng)和微小尺寸的儀器,具有溫度穩(wěn)定性好、測(cè)量范圍大、測(cè)量精度高、動(dòng)態(tài)響應(yīng)好、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單等一系列優(yōu)點(diǎn),它的相對(duì)變化量大,能在特殊環(huán)境下工作,如在強(qiáng)光照射下、在核輻射條件、過(guò)載沖擊震動(dòng)環(huán)境等。所以在航空、航天、工業(yè)生產(chǎn)加工、超精密測(cè)量等領(lǐng)域中具有廣泛應(yīng)用。它與常規(guī)的光電傳感器、電阻式、電感式傳感器相比有如下優(yōu)點(diǎn): 
    1.輸入能量極低,需要非常小的輸入。由于帶電極板間靜電引力很小,約到10-5N量級(jí),因此它特別適用于解決輸入能量低的測(cè)量問(wèn)題,如微小位移和微小壓力變化的精密測(cè)量。 
    2.可以獲得較大的相對(duì)變化量。如對(duì)金屬應(yīng)變傳感器來(lái)說(shuō),由于應(yīng)變極限的限制,RR?一般低于1%,數(shù)值很小。而對(duì)于電容式傳感器,電容相對(duì)變化量CC?只受到線性和其他實(shí)際條件的限制,若采用高線性電路時(shí),其CC?可達(dá)到或更大,這就可大大提高傳感器的輸出信號(hào)。 
    3.溫度穩(wěn)定性好。微位移測(cè)量系統(tǒng)的電容值一般與電極材料無(wú)關(guān),取決于幾何尺寸,只從強(qiáng)度、溫度系數(shù)、抗蠕變能力等機(jī)械特性考慮,有利于選擇溫度系數(shù)低的材料,因其本身發(fā)熱極小,影響穩(wěn)定性甚微。  

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