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壓電馬達線性平移臺

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產品型號XYZ軸

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更新時間：2025-11-13 09:55:09瀏覽次數：3546次

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上海納動納米位移技術有限公司

經營模式：生產廠家

商鋪產品：160條

所在地區(qū)：上海上海市

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產品簡介

產地	國產	加工定制	否
儀器種類	其他

壓電馬達線性平移臺采用無聲的超聲波馬達，超聲波馬達是通過一個耦合元件抵住移動導向轉子，在高頻電流下壓電陶瓷促動器被激發(fā)產生超聲波振動，促動器的變形使耦合元件相對于轉子產生周期性的對角運動，每個循環(huán)的進給為幾個納米，高頻的信號，可以使轉子高速的運動。

詳細介紹

壓電馬達線性平移臺采用無聲的超聲波馬達，超聲波馬達是通過一個耦合元件抵住移動導向轉子，在高頻電流下壓電陶瓷促動器被激發(fā)產生超聲波振動，促動器的變形使耦合元件相對于轉子產生周期性的對角運動，每個循環(huán)的進給為幾個納米，高頻的信號，可以使轉子高速的運動。

壓電馬達線性平移臺主要應用：

l 光電子學

l 掃描電子顯微鏡

l 半導體生產

l 醫(yī)學和材料科學

l 生命科學與生物技術學

l 顯微鏡和計量學

主要特點：

l 大行程（92mm）

l 高精度（78nm）

l 高速度（400mm/s）

l 支持斷電自鎖

l 可在真空和非磁環(huán)境

選型：

產品型號	ESLP50-2	ESLP100-2	ESLP150-2
行程	50	100	150
zui大推力（N）	16
zui大速度（mm/S）	200
zui小步長（nm）	50
光柵分辨率（um）	0.5(1um和50nm)光柵可選
重復定位精度（um）	<±2um
zui大負載（kg）	3.5	4.5	5
結構材質	鋁合金/不銹鋼

上海納動納米位移技術有限公司（簡稱“納動納米”、“NanoMotions”），坐落于上海漕河涇新興技術開發(fā)區(qū)，是一家專業(yè)集精密機械、精密驅動、精密傳感、精密控制、精密測量、精密光學等各領域的技術于一體的*，專注于超精密納米級定位及運動控制技術與產品的開發(fā)，并致力于創(chuàng)新開發(fā)壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測量等設備提供系統(tǒng)的技術解決方案，滿足于國內外市場對超精密納米級定位及運動控制技術需求的專業(yè)研發(fā)制造商。上海納動納米位移技術有限公司本著“創(chuàng)新，立足，精益打造納米定位與運動控制中國制造的品牌“的目標，力求*國內*，打破國外對中國的技術壁壘和國外產品壟斷中國市場的局面，為中國智能裝備產業(yè)和科研領域提供*運動和測控解決方案提供關鍵技術和打造堅實基礎。

關鍵詞：電子顯微鏡顯微鏡



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