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1~3維精密微動壓電平臺光學表面分析儀

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產(chǎn)品型號PFV3D70-600U-S

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更新時間：2025-11-13 10:33:41瀏覽次數(shù)：844次

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上海納動納米位移技術(shù)有限公司

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地	國產(chǎn)	加工定制	是
適用行業(yè)	其他

1~3維精密微動壓電平臺內(nèi)置高性能壓電陶瓷作為驅(qū)動元件，采用SGS傳感器閉環(huán)，實現(xiàn)精密高速定位運動，產(chǎn)品結(jié)構(gòu)緊湊，易于集成，采用分離式結(jié)構(gòu)設(shè)計，減小了兩自由度之間的耦合，采用高可靠性的壓電陶瓷驅(qū)動，具有較高的重復(fù)定位精度和納米級位移分辨率，機體材料分鋁合金，嚴格保證構(gòu)結(jié)精度;采用計算機有限元仿真分析等現(xiàn)代設(shè)計方法設(shè)計微動結(jié)構(gòu)；采用*的表面處理工藝，提高了適應(yīng)不同工作環(huán)境的能力。

詳細介紹

1~3維精密微動壓電平臺內(nèi)置高性能壓電陶瓷作為驅(qū)動元件，采用SGS傳感器閉環(huán)，實現(xiàn)精密高速定位運動，產(chǎn)品結(jié)構(gòu)緊湊，易于集成，采用分離式結(jié)構(gòu)設(shè)計，減小了兩自由度之間的耦合，采用高可靠性的壓電陶瓷驅(qū)動，具有較高的重復(fù)定位精度和納米級位移分辨率，機體材料分鋁合金，嚴格保證構(gòu)結(jié)精度;采用計算機有限元仿真分析等現(xiàn)代設(shè)計方法設(shè)計微動結(jié)構(gòu)；采用*的表面處理工藝，提高了適應(yīng)不同工作環(huán)境的能力。

1~3維精密微動壓電平臺典型應(yīng)用
• 顯微成像 • 納米定位
• 生物技術(shù) • 半導(dǎo)體技術(shù)
• 質(zhì)量保證測試 • 微車削
• 原子力顯微鏡

■ 產(chǎn)品特性
1.采用高性能的壓電陶瓷驅(qū)動;
2.具有開環(huán)和閉環(huán)兩種規(guī)格型號;
3.采用數(shù)控、線切割等加工工藝，嚴格保證構(gòu)結(jié)精度;
4.采用計算機有限元仿真分析等現(xiàn)代設(shè)計方法設(shè)計微動結(jié)構(gòu)；
5.采用*的表面處理工藝，提高了適應(yīng)不同工作環(huán)境的能力；
6.超高性能的開/閉環(huán)掃描平臺。

型號說明：

產(chǎn)品型號		PK3L60-080U	PK3L60-080U-S	公差
運動自由度		X、Y、Z	X、Y、Z	-
傳感器類型		-	Strain Gage	-
標稱行程范圍（@0~+120V）		80 μm/軸	80 μm/軸	±20%
行程范圍（@-20~+150V）		100 μm/軸	100 μm/軸	±20%
分辨率		5 nm	7 nm	typ.
重復(fù)定位精度		-	0.05% F.S.	typ.
線性度		-	0.15% F.S.	typ.
承載能力		6 N	6 N	Max.
剛度		0.8 N/μm	0.8 N/μm	±20%
諧振頻率	0g	（X）210 Hz、（Y）210 Hz、（Z）190 Hz	（X）210 Hz、（Y）210 Hz、（Z）190 Hz	±20%
靜電容量		1.6 μF/軸	1.6 μF/軸	±20%
工作溫度范圍		-10~+70 ℃	-10~+70 ℃	-
驅(qū)動電壓范圍（*）¹		0~+120 V	0~+120 V	typ.
線纜長度		1.5 m/軸	1.5 m/軸	±10mm
外形尺寸(LxH)		60×60×24 mm	60×60×24 mm	-
重量		180 g	180 g	±5%
本體材質(zhì)²		鋁（B）、鋼	鋁（B）、鋼