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θxθy軸壓電偏擺鏡

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更新時間：2025-11-13 11:02:45瀏覽次數(shù)：1387次

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上海納動納米位移技術(shù)有限公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地	國產(chǎn)	加工定制	否

θxθy軸壓電偏擺鏡內(nèi)置精密位移傳感器進行全閉環(huán)的位置反饋，確保了壓電偏擺鏡具有的運動控制精度，定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級，定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級。緊湊型設(shè)計，可更好的集成于光學(xué)系統(tǒng)中?？筛鶕?jù)用戶需求定制安裝及出線方式。

詳細(xì)介紹

θxθy軸壓電偏擺鏡內(nèi)置精密位移傳感器進行全閉環(huán)的位置反饋，確保了壓電偏擺鏡具有的運動控制精度，定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級，定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級。緊湊型設(shè)計，可更好的集成于光學(xué)系統(tǒng)中?？筛鶕?jù)用戶需求定制安裝及出線方式。

θxθy軸壓電偏擺鏡產(chǎn)品應(yīng)用：

圖像處理/穩(wěn)定　隔行掃描，抖動　　激光掃描　光束偏擺/穩(wěn)定　　激光通信　　光過濾/轉(zhuǎn)換　　納米定位

θxθy軸壓電偏擺鏡產(chǎn)品特性

◆ 結(jié)構(gòu)緊湊，易于集成；

◆ 超大擺角高達(dá)；

◆ 采用無摩擦、無回差緊湊的差分式并聯(lián)結(jié)構(gòu)柔性導(dǎo)向系統(tǒng)，具有超高的導(dǎo)向精度；

◆ 內(nèi)置高性能的壓電陶瓷，高可靠性；

◆ 內(nèi)置精密位移傳感器進行全閉環(huán)位置反饋，開/閉環(huán)可供選擇，可提供定制安裝及出線方式。

技術(shù)參數(shù);

運動軸	θxθy(Tip/Tilt)
傳感器類型	電容式
閉環(huán)行程	θx：4 θy：6 mrad
閉環(huán)分辨率	0.08 μrad
線性度	0.2 ％
無負(fù)載諧振頻率	1000 Hz
帶負(fù)載諧振頻率（負(fù)載重量200g）	500Hz
驅(qū)動電壓	-30~+150V
電纜長度	2m
連接器類型	D-sub15
位移臺材料	銦鋼或航空鋁
大負(fù)載	5 Inch Mirror
體積	130×130×91mm

上海納動納米位移技術(shù)有限公司（簡稱“納動納米”、“NanoMotions”），坐落于上海漕河涇新興技術(shù)開發(fā)區(qū)，是一家專業(yè)集精密機械、精密驅(qū)動、精密傳感、精密控制、精密測量、精密光學(xué)等各領(lǐng)域的技術(shù)于一體的*，專注于超精密納米級定位及運動控制技術(shù)與產(chǎn)品的開發(fā)，并致力于創(chuàng)新開發(fā)壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測量等設(shè)備提供系統(tǒng)的技術(shù)解決方案，滿足于國內(nèi)外市場對超精密納米級定位及運動控制技術(shù)需求的專業(yè)研發(fā)制造商。

上海納動納米位移技術(shù)有限貴公司自主研發(fā)的產(chǎn)品涵蓋壓電陶瓷元件、疊堆壓電陶瓷、封裝型壓電陶瓷/促動器、納米級精密定位臺/掃描臺、壓電納米定位平移臺/升降臺/偏擺臺/旋轉(zhuǎn)臺、納米級光束偏轉(zhuǎn)鏡、納米級顯微掃描平臺、納米級物鏡聚焦/掃描器、納米級紅外微掃描器、壓電微操作鉗、壓電微分頭、壓電馬達(dá)/電機、壓電螺旋促動器、壓電點膠閥、壓電機床微進給平臺、六軸并聯(lián)微位移定位系統(tǒng)、高精度位移傳感器、壓電陶瓷驅(qū)動/控制器、高精度微位移測量系統(tǒng)等系列產(chǎn)品。

壓電Tip / Tilt平臺內(nèi)部使用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，補償量小，確保了擺鏡的運動精度和超高的穩(wěn)定性。

平臺采用緊湊的差分并聯(lián)結(jié)構(gòu)設(shè)計且內(nèi)置精密位移傳感器進行全閉環(huán)的位置反饋，定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級，定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級。

緊湊型設(shè)計，可更好的集成于光學(xué)系統(tǒng)中。內(nèi)部有一個或多個壓電陶瓷，由壓電陶瓷產(chǎn)生單軸或者多軸的運動。納動設(shè)計和制造的納米位移臺使用柔性鉸鏈技術(shù)將運動裝置連接到固定基座上。

納米位移臺內(nèi)置高精密傳感器，閉環(huán)控制時，傳感器技術(shù)在保證線性度的前提下，可以實現(xiàn)納米級別、亞納米級別的分辨率。

關(guān)鍵詞：位移傳感器圖像處理連接器

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