上海納動(dòng)納米位移技術(shù)有限公司
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上海納動(dòng)納米位移技術(shù)有限公司
| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)PF系列
品 牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地上海市
聯(lián)系方式：石女士查看聯(lián)系方式
更新時(shí)間：2025-11-12 21:35:16瀏覽次數(shù)：1733次
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| 產(chǎn)地 | 國(guó)產(chǎn) | 加工定制 | 否 |
|---|---|---|---|
| 適用領(lǐng)域 | 科研 |
Z向 PFC**-80U是采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的納米級(jí)物鏡掃描臺(tái)，掃描臺(tái)內(nèi)部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，確保了掃描臺(tái)的運(yùn)動(dòng)精度。掃描臺(tái)內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋，定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級(jí)，定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級(jí)。掃描臺(tái)為無磁材質(zhì)，使用過程中不產(chǎn)生磁場(chǎng)同時(shí)也不受磁場(chǎng)的影響。分立的螺紋適配器，可適配多種型號(hào)的物鏡。
■ 技術(shù)數(shù)據(jù)
產(chǎn)品型號(hào) | PFV**-80U（小負(fù)載型） | PFV**-80U-S（小負(fù)載型） | 公差 | |
運(yùn)動(dòng)自由度 | Z | Z | - | |
傳感器類型 | - | Strain Gage | - | |
標(biāo)稱行程范圍（@0~+120V） | 80 μm | 80 μm | ±20% | |
zui大行程范圍（@-20~+150V） | 100 μm | 100 μm | ±20% | |
分辨率 | 2.5 nm | 5 nm | typ. | |
重復(fù)定位精度 | - | 0.05% F.S. | typ. | |
線性度 | - | 0.1% F.S. | typ. | |
承載能力 | 2 N | 2 N | Max. | |
剛度 | 1.3 N/μm | 1.3 N/μm | ±20% | |
諧振頻率 | 0g | 330 Hz | 330 Hz | ±20% |
靜電容量 | 3.4 μF | 3.4 μF | ±20% | |
工作溫度范圍 | -10~+70 ℃ | -10~+70 ℃ | - | |
驅(qū)動(dòng)電壓范圍（*）1 | 0~+120 V | 0~+120 V | typ. | |
線纜長(zhǎng)度 | 1.5 m | 1.5 m | ±10mm | |
外形尺寸(LxH) | 48×40×16.5 mm（不含適配器） | 48×40×19 mm（不含適配器） | - | |
重量 | 150 g | 150 g | ±5% | |
本體材質(zhì)2 | 鋼（W） | 鋼（W） | - | |
說明：
1.zui大驅(qū)動(dòng)電壓可在-20V~+150V使用；*使用建議在0~120V驅(qū)動(dòng)電壓下可延長(zhǎng)使用壽命。
2.表面處理:白色(W)/黑色(B)。
■ 外形尺寸
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