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壓電納米定位平臺-電子/半導(dǎo)體檢測儀器

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產(chǎn)品型號PSVL30-100U-S系列

品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所在地上海市

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更新時間：2025-11-13 07:21:03瀏覽次數(shù)：464次

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壓電納米掃描臺

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上海納動納米位移技術(shù)有限公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：160條

所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：石女士（銷售）

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產(chǎn)品簡介

· 集成化緊湊的設(shè)計· 無機械摩擦的柔性鉸鏈設(shè)計· Z向運動范圍zui高可達100μm· 可選擇SG傳感器位置反饋

詳細(xì)介紹

技術(shù)數(shù)據(jù)：

型號

Model No.

PSVL36-100U-S

軸

Axes

伺服特性

Servo

行程范圍

Travel range

（@120V）

閉環(huán)

Closed loop

80μm

開環(huán)

Open loop

80μm

分辨率

Resolution

5nm

重復(fù)定位精度

Repeatability

0.05%F.S.

線性度

Linearity

0.2%

俯仰/偏航/滾動

Pitching/Yawing/Rolling

1” / 2” / 1”

承載能力

Load capacity

12N

諧振頻率

Resonant frequency

300Hz

剛度

Stiffness

0.3N/μm

靜電容量

Capacitance

1.6μF

線纜長度

Cable length

1.5m

尺寸(LxH）

Dimensions

36*36*20mm

重量

Weight

80g

本體材質(zhì)

Body material

鋼/鋁（B）

Steel/Aluminum

表面處理:白色(W)/黑色(B) Surface treatment :[（W）White alumite /（B）Black alumite ］

■ 外形尺寸

詳情登陸：www.nanomotions。。ｃｏｍ，進行查閱



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