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JKMDS-600型半導(dǎo)體冷熱臺(tái) JKMDS-600型半導(dǎo)體冷熱臺(tái) 冷熱臺(tái)作為一種能夠精確控制樣品溫度的實(shí)驗(yàn)設(shè)備,為半導(dǎo)體材料研究提供了有力支持
| JKMDS-600型半導(dǎo)體冷熱臺(tái) JKMDS-600型半導(dǎo)體冷熱臺(tái) 冷熱臺(tái)作為一種能夠精確控制樣品溫度的實(shí)驗(yàn)設(shè)備,為半導(dǎo)體材料研究提供了有力支持。通過冷熱臺(tái),科研人員可以在不同的溫度條件下對材料進(jìn)行性能測試,了解材料的熱穩(wěn)定性、導(dǎo)電性、光學(xué)性能等關(guān)鍵參數(shù)。此外,冷熱臺(tái)還能模擬材料在溫度環(huán)境下的表現(xiàn),為材料的應(yīng)用提供重要的參考數(shù)據(jù)。 JKMDS-600是使用廣泛的THMS600型高精度冷熱臺(tái)的加強(qiáng)型。其寬泛的溫度范圍(-196°C到600°C)和升溫速率(0.1到150°C/min),以及高精度(全程0.1°C)和高穩(wěn)定(<0.1°C),使其在各行業(yè)得到廣泛的應(yīng)用。 其中的關(guān)鍵組件熱臺(tái)由銀質(zhì)加熱塊、測溫元件以及密閉腔室組成。樣品放置在0.17mm厚的蓋玻片上,蓋玻片放置在高度拋光的銀質(zhì)加熱元件上。銀質(zhì)加熱元件保證了的熱傳遞和溫度測量。精度高于0.1°C的鉑電阻傳感器提供了非常精確和穩(wěn)定的溫度信號(hào)。樣品腔室是氣密的,氣體閥可以控制腔室內(nèi)的環(huán)境,即惰性氣體或濕度。 可以自動(dòng)儲(chǔ)存150對XY軸坐標(biāo),全電動(dòng)式移動(dòng)。 參數(shù): 溫度范圍-196°C 到600 °C (-196℃需選擇專用冷卻系統(tǒng)) 可控加熱速率0.1到150°C/min 通過LinkSys軟件進(jìn)行計(jì)算機(jī)控制 馬達(dá)位置分辨率0.05µm 位置重復(fù)性<3um 150 X,Y 坐標(biāo)可以存儲(chǔ) 15mm X,Y 移動(dòng) 手動(dòng)或計(jì)算機(jī)操作 可定義計(jì)算機(jī)掃描區(qū)域 7, 10 或16mm樣品夾持器可用 全部速度范圍內(nèi)消除樣品抖動(dòng) 與圖像系統(tǒng)聯(lián)用,記錄樣品測定全過程 通風(fēng)的底部窗口消除冷凝現(xiàn)象 設(shè)計(jì)的上蓋可以允許快速更換鏡頭 使用熱臺(tái)支架直接安裝熱臺(tái) 物鏡工作距離.1mm 到4.9mm 聚光鏡最小工作距離12.7mm |
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