北京華賀技術有限公司
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產(chǎn)品型號π 2 -CYGNI
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聯(lián)系方式：郭宏艷查看聯(lián)系方式
更新時間：2025-09-08 08:43:05瀏覽次數(shù)：267次
聯(lián)系我時，請告知來自 儀表網(wǎng)美國實驗室Cygnus 2 -CYGNI光刻系統(tǒng)
美國實驗室Cygnus π 2 -CYGNI光刻系統(tǒng)
簡述：使用新型的172nm 的波長。不需要傳統(tǒng)的光刻膠，對幾乎任何的有機聚合物材料都可以光刻。不需要傳統(tǒng)的涂膠、烘烤、曝光、顯影、清洗等的流程和時間。高分辨率、高強度、高效率、低成本。在實驗室就可以實現(xiàn)光刻，而無需到半導體工廠，使用大型和昂貴的刻蝕機。操作簡單，幾乎無需培訓。
美國實驗室Cygnus π 2 -CYGNI光刻系統(tǒng)特點：
•新一代紫外波長：172 nm
•光源技術：平面微腔陣列發(fā)光
•同類的輸出強度: >10mW/cm2
•無需光刻膠，可對幾乎所有有機聚合物直接曝光
•無需超凈間，無需預熱，無需冷卻，無需復雜培訓，幾乎"零"維護
•杰出的光束均勻度：可用光圈的3％
•壽命長：3000小時曝光，曝光高達60,000次(3分鐘/次), 使用可達10年
•綠色技術：無汞等有毒易燃氣體和物質； 高電-光轉換率，節(jié)能省電；
•小巧，方便，耐用高功率平面真空-紫外線在光處理中展現(xiàn)了新的可能性
高功率平面真空-紫外線在光處理中展現(xiàn)新的可能性
革命性的采用全新的燈泡，具有高功率，出色的均勻性和多功能性，效率高并且設計緊湊，采用模塊化形式！ 在172 nm創(chuàng)造性的引入π2 -CYGNI系列真空紫外線處理系統(tǒng)。
172納米 全新光處理體系
傳統(tǒng)172 nm光源的低輸出功率阻礙了該波長在研究和生產(chǎn)中的廣泛應用。 π2-CYGNI 克服了這一障礙，并展示了172 nm的真正實力- 全新化學驅動，反應方式和處理技術。 紫外線不僅僅用于光刻和固化！
全新功率驅動
紫外線弧光燈能提供高平均功率， 準分子紫外線源提供高光子通量。 π2-CYGNI 提供高平均功率和高光子通量- 無需有源或外部冷卻。 把高功率和高光子通量這種*組合，封裝在手掌大的盒子中，實現(xiàn)其他光源無法完成的大面積反應和處理。
全新弧光技術
每套 π2-CYGNI系統(tǒng)的核心是它超薄的（< 4 mm）平面微腔放電燈。 與傳統(tǒng)的弧光放電燈相比，這種廣域照射產(chǎn)生了的均勻性，同時又消除了對復雜聚光，準直和均化等光學器件的要求。
綠色環(huán)保的紫外線(UV)
在π2-CYGNI系統(tǒng)之前，產(chǎn)生紫外線通常意味著產(chǎn)生有毒物質，低轉換率和高設備成本。 π2-CYGNI 通過環(huán)保且節(jié)能的解決方案突破這些障礙。 π2-CYGNI 的制造和使用過程不使用有毒材料，在生產(chǎn)中使用π-CYGNI 可以減少化學材料和水的消耗。 有效的降低使用成本，僅是使用其他172 nm光源成本的一小部分。
美國實驗室Cygnus π 2 -CYGNI光刻系統(tǒng)參數(shù)：
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