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當前位置：廈門欣銳儀器儀表有限公司>>儀器儀表>>環(huán)境檢測儀器>> XP-703D新宇宙cosmos泵吸式半導(dǎo)體特氣檢漏儀XP-703DIII
型 號
XP-703D
檢測對象氣體
半導(dǎo)體材料氣體（胂、膦、、硅烷、氫氣等）
檢測原理
熱線型半導(dǎo)體式
采樣方式
自動吸引式
可檢測濃度
（單位：ppm）
砷烷 磷烷 硅烷 氫氣
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
檢測表示
蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍
應(yīng)答速度
10秒以內(nèi)
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