高精度氣體流量計是采用了什么原理進行作業(yè)的？

時間：2019/5/14閱讀：412

　　高精度氣體流量計采用熱擴散原理，熱擴散技術是一種在苛刻條件下性能優(yōu)良、可靠性高的技術。其典型傳感元件包括兩個熱電阻(鉑RTD)，一個是速度傳感器，一個是自動補償氣體溫度變化的溫度傳感器。當兩個RTD被置于介質中時，其中速度傳感器被加熱到環(huán)境溫度以上的一個恒定的溫度，另一個溫度傳感器用于感應介質溫度。流經(jīng)速度傳感器的氣體質量流量是通過傳感元件的熱傳遞量來計算的。氣體流速增加，介質帶走的熱量增多。使傳感器溫度隨之降低。為了保持溫度的恒定，則必須增加通過傳感器的工作電流，此增加的部分電流大小與介質的流速成正比。

　　高精度氣體流量計主要應用領域：

　　1、半導體制造行業(yè)的氣體流量控制。

　　2、分析儀器設備的氣體計量與控制。

　　3、各種形式的真空鍍膜設備。

　　4、環(huán)境檢測與分析設備。

　　5、化工、石化、食品行業(yè)氣體流量監(jiān)測和控制。

　　6、特種材料表面處理裝置與燃燒控制。

　　7、混氣配氣系統(tǒng)和泄漏探測系統(tǒng)等。

　　高精度氣體流量計特點：

　　1、采用主體不銹鋼(316L)結構，與氣體接觸部分采用鐵素體高耐腐蝕軟磁不銹鋼、VITON®、聚四氟乙烯等。

　　2、適用于各種腐蝕性氣體。

　　3、氣體流量不因溫度、壓力的變化而失準。

　　4、高精度；重復性好。

　　5、響應速度快、軟啟動、穩(wěn)定可靠。

　　6、低壓降。

　　7、工作壓力范圍寬(可以在高壓或真空條件下工作)。

　　8、操作使用方便，可任意位置安裝。

　　9、便于與計算機連接實現(xiàn)自動控制。

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