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湘潭華豐儀器制造有限公司

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更新時(shí)間：2026-09-23 14:41:07瀏覽次數(shù)：638次

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氣相沉積設(shè)備主要由反應(yīng)室、供氣系統(tǒng)和加熱系統(tǒng)組成。反應(yīng)室是CVD中zui基本的部分，常采用石英管制成，其壁可分為熱態(tài)和冷態(tài)。

詳情介紹

一、氣相沉積設(shè)備一般是通過(guò)一定的氣體與之發(fā)生氣—固或氣—液反應(yīng)，形成適當(dāng)?shù)臍鈶B(tài)組分，將產(chǎn)生的氣態(tài)組分輸送入反應(yīng)室，在這些反應(yīng)物載入沉積區(qū)之前，一般不希望它們之間相互反應(yīng)，因此，在低溫下會(huì)相互反應(yīng)的物質(zhì)在進(jìn)入沉積區(qū)之前應(yīng)隔開(kāi)。