本產(chǎn)品不但提供了電阻率ρ、方塊電阻 R 口以及體電阻 R 測(cè)試的基本修正系數(shù)設(shè)定, 還提供了產(chǎn)品厚度 G、外形和測(cè)試位置的修正系數(shù) D 設(shè)定,極大的提高了測(cè)試精度。測(cè)試類別的快捷選擇方式,方便了用戶同時(shí)測(cè)試多個(gè)參數(shù),提高測(cè)試效率。整機(jī)測(cè)量相對(duì)誤差:≤±3%;整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度:≤±3%四位半顯示讀數(shù);八量程自動(dòng)或手動(dòng)測(cè)試;范圍寬: 電阻:10-4Ω~105Ω ;方阻:10-4Ω/□~105Ω/□;正反向電流源修正測(cè)量電阻誤差恒流源:電流量程分為: 1uA、10uA、100uA、1mA、10mA 、100mA六檔;儀器配有恒流源開關(guān)可有效保護(hù)被測(cè)件,即先讓探針頭壓觸在被測(cè)材料上,后開恒流源開關(guān),避免接觸瞬間打火。為了提高工作效率,如探針帶電壓觸單晶對(duì)材料及測(cè)量并無影響時(shí),恒流源開關(guān)可一直處于開的狀態(tài)??膳浜隙喾N探頭進(jìn)行測(cè)試;也可配合多種測(cè)試臺(tái)進(jìn)行測(cè)試。校正功能:可手動(dòng)或自動(dòng)選擇測(cè)試量程 全量程自動(dòng)清零。厚度可預(yù)設(shè),自動(dòng)修正樣品的電阻率,無需查表即可計(jì)算出電阻率自動(dòng)進(jìn)行電流換向,并進(jìn)行正反向電流下的電阻率(或方塊電阻)測(cè)量,顯示平均值.測(cè)薄片時(shí),可自動(dòng)進(jìn)行厚度修正。雙電測(cè)測(cè)試模式,測(cè)量精度高、穩(wěn)定性好.具備溫度補(bǔ)償功能,修正被測(cè)材料溫漂帶來的測(cè)試結(jié)果偏差。比較器判斷燈直接顯示,勿需查看屏幕,作業(yè)效率得以提高。
(薄片電阻率)R 口或體電阻 R 中三選一,切換儀器到“測(cè)量"模式,窗口左側(cè)“測(cè)量" 模式燈亮。電阻測(cè)量,注意良好接觸,電壓測(cè)試端在內(nèi)側(cè);半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試,將探針與樣品良好接觸,注意壓力要適中;由數(shù)字顯示窗直接讀出測(cè)量值。