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行業(yè)產(chǎn)品

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北京郎潤達(dá)科貿(mào)有限公司


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ST-550數(shù)字型全金屬密封質(zhì)量流量控制器

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地北京市

聯(lián)系方式:朱小姐查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2025-09-07 07:45:37瀏覽次數(shù):204次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

ST550是全新升級(jí)的全金屬密封產(chǎn)品,它除擁有高精度、快速性能之外,在泄漏率方面做的更低,非常適用于高真空、強(qiáng)腐蝕或?qū)π孤┞视懈咭蟮膱?chǎng)合。 應(yīng)用及案例?半導(dǎo)體設(shè)備?工業(yè)......

詳細(xì)介紹


產(chǎn)品特點(diǎn)


? 采用隔膜式的全金屬密封MFC,經(jīng)過EP以及氧化覆膜處理,可以兼容腐蝕性介質(zhì)

? 帶顯示屏(如果選RS485則不帶顯示屏)

? 數(shù)字通訊:可選RS485,DeviceNet®,EtherCAT®

? 可選IGS W型密封圈接頭

? 響應(yīng)時(shí)間快:<1秒

? 高精度:精度±1.0%SP(>10%FS);±0.1%FS(≤10%FS)

? 量程可切換:支持修改滿量程的30~110%

? 泄漏率低至<1.0x10-11pa*m3/sec(He)





技術(shù)參數(shù)



傳感器類型

熱式繞線型

閥         門

比例電磁閥(斷電時(shí)關(guān)閉)

適用氣體※1

干燥的兼容性氣體

量         程※2

10、30、50、100、300、500SCCM,

1、3、5、10 SLPM

30 SLPM

控制范圍

2~99%FS

響應(yīng)時(shí)間

<1s

精         度

±1%SP(10~99%FS);±0.1%FS(2~10%FS)

重  復(fù)  性

± 0.2%FS

動(dòng)作壓差

L型

50~149 KPa

50~199 KPa

H型

150~300 KPa

200~300 KPa

入口壓力

300KPa(G)

耐壓

1MPa(G)

外部泄漏率

<1.0x10-11pa*m3/sec(He)

溫度

允許環(huán)境溫度

5~50 ℃

精度保證溫度

15~40 ℃

允許保存溫度

0~60 ℃

允許環(huán)境濕度

0~80%RH(未冷凝)

接液材質(zhì)

316L、PTFE、Au、Co-Ni

密封材料

SUS316L、Au

電氣連接

RS485

DB9M接頭、RJ-45模塊化插孔x 2

DeviceNet®/EtherCAT®

M12型5芯接頭

模擬流量設(shè)置信號(hào)(只限RS-485)

0~5VDC(輸入阻抗約1MΩ)

或 4~20mA(輸入阻抗約250Ω)

模擬流量輸出信號(hào)(只限RS-485)

0~5VDC(負(fù)載電阻1MΩ以上)

或 4~20mA(負(fù)載電阻250Ω以下)

數(shù)字通訊

RS485/DeviceNet®/EtherCAT®

所需電源

11-25VDC,(5VA max)

過程接口

1.125"W型92 mm或1/4"VCRM

安裝方向

建議水平方向

重         量

約1000 g

注:

※1:沒有記載的氣體換算成N2, 細(xì)則請(qǐng)另外聯(lián)系銷售人員。

※2:流量校準(zhǔn)單位SCCM、SLPM分別表示在0℃,1atm 時(shí)的體積流量。



尺寸詳圖


尺寸圖.png



關(guān)鍵詞:顯示屏 電磁閥
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