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非接觸式深度測量工具顯微鏡
HISOMET系列工具顯微鏡為一專業(yè)X、Y、Z軸座標測量顯微鏡,X、Y工作臺行程由100*200mm到大行程500*500mm,放大倍數(shù)由5至1000×。為求提高工件在Z軸深度/高度測量時的精度,Z軸對焦採用一專利光學“裂像指示器”,結合精密的Z軸“Cross Roller Bearing”導軌,可測範圍25 mm,精度高達1μm,配合特殊附件,測量分解度更可達0.5μm或0.1μm.
技術規(guī)格
型號:DH II
工作臺行程:100*200mm/150*300mm/500*500mm
Z軸測量範圍:25mm/25mm/25mm
三軸分解度:0.001mm
Z軸讀數(shù)裝置:ID-F內(nèi)置數(shù)顯表/外置數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)
反射照明系統(tǒng): 內(nèi)置8V-15W鎢絲燈/外置冷光源
標準目鏡:10X
標準物鏡:10X
讀數(shù)系統(tǒng)
DRO200S簡易坐標讀數(shù)器/QC200多功能數(shù)據(jù)處理器/QC5000測量軟件電腦系統(tǒng)
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