表面粗糙度輪廓儀的接觸式，即采用觸針法。觸針法又稱針描法，它是將一個(gè)很尖的觸針(半徑可以做到微米量級(jí)的金剛石針尖)垂直安置在被測(cè)表面上作橫向移磯觸針將隨著被測(cè)表面輪廓形狀作垂直起伏運(yùn)魂將這種微小位移通過電路轉(zhuǎn)換成電信號(hào)并加以放大和運(yùn)算處理，即可得到工作表面粗糙度參數(shù)值，主要分為電感式壓電式感應(yīng)式等幾種。這種儀器穩(wěn)定性好，示數(shù)客觀可靠，使用方便等優(yōu)點(diǎn)，其垂直分辨力可達(dá)到幾納米。

其優(yōu)點(diǎn)：測(cè)量范圍大、分辨率高、測(cè)量結(jié)果穩(wěn)定可靠、重復(fù)性好。但是也存在很多的缺點(diǎn)：(1)金剛石測(cè)量頭的硬度一般很高，易劃傷工件，不適宜測(cè)量高質(zhì)量和軟質(zhì)材料表面。(2)為滿足測(cè)量頭頭部的耐磨性和剛度要求，測(cè)量頭不能做的過于細(xì)小和尖銳，易影響測(cè)量精度。(3)測(cè)量微觀表面輪廓時(shí)，為了保證掃描路徑方向上的精度和橫向分辨率，進(jìn)給步距很小，所以測(cè)量速度不高。