遼寧研生科技有限公司是壓電納米定位超精密位移臺的專業(yè)制造商。

壓電納米定位平臺 壓電平移臺 壓電陶瓷平臺

?遼寧研生科技有限公司自主研發(fā)的產(chǎn)品涵蓋壓電陶瓷元件、疊堆壓電陶瓷、封裝型壓電陶瓷/促動器、壓電納米定位臺/掃描臺、壓電平移臺/升降臺/偏擺臺/旋轉(zhuǎn)臺、壓電光束偏轉(zhuǎn)鏡、壓電顯微掃描平臺、壓電物鏡聚焦/掃描器、壓電紅外微掃描器、壓電微操作鉗、壓電微分頭、壓電馬達(dá)/電機(jī)、壓電螺旋促動器、壓電點(diǎn)膠閥、壓電機(jī)床微進(jìn)給平臺、六軸并聯(lián)微位移定位系統(tǒng)、高精度位移傳感器、壓電陶瓷驅(qū)動/控制器、高精度微位移測量系統(tǒng)等幾十個(gè)系列產(chǎn)品。

3~6維壓電納米定位平臺 多軸并聯(lián)式納米定位超精密位移臺║P66/68系列

壓電納米定位平臺 壓電平移臺 壓電陶瓷平臺

P68系列是采用壓電陶瓷驅(qū)動的三至六維并聯(lián)式納米級精密壓電定位平臺，壓電陶瓷平臺內(nèi)部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，壓電平移臺采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度，且具有高剛性、高負(fù)載、無磨損、免維護(hù)等特點(diǎn)，壓電平臺內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋，確保了平臺具有的運(yùn)動控制精度，定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級，定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級。平臺內(nèi)部采用并聯(lián)式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì) ， 結(jié)構(gòu)緊湊，所有促動器作用在同一個(gè)移動臺面上，可同時(shí)實(shí)現(xiàn)多軸運(yùn)動且每軸具有相同的動態(tài)性。對比嵌套式或疊堆式的串聯(lián)結(jié)構(gòu)，并聯(lián)結(jié)構(gòu)有著更輕的質(zhì)量，更低的慣量和更高的動態(tài)性。中空式設(shè)計(jì)，且*通孔較大，可更好的適用于顯微及掃描系統(tǒng)中。

3~6維壓電納米定位平臺 多軸并聯(lián)式納米定位超精密位移臺║P66/68系列

產(chǎn)品特點(diǎn):

◆ 外形尺寸：特大中空尺寸；

◆ 采用無摩擦、無空回柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向系統(tǒng)，具有超高的導(dǎo)向精度；

◆ 內(nèi)置高性能的壓電陶瓷，高可靠性；

◆ 內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)位置反饋，開/閉環(huán)可供選擇。

3~6維壓電納米定位平臺 多軸并聯(lián)式納米定位超精密位移臺║P66/68系列

產(chǎn)品應(yīng)用：

掃描顯微鏡（SPM）　•　干涉　•　計(jì)量　•　掩模/晶圓定位　•　度量衡學(xué)　•　生物技術(shù)　•　顯微光學(xué)　•　激光技術(shù)　•　微操作

       遼寧研生科技有限公司研生科技的納米級精密定位產(chǎn)品類型豐富，運(yùn)動自由度從一維至六維[X,Y,Z,θX, θY,θZ]，運(yùn)動行程從幾微米至幾千微米，承載能力從幾百克至幾百千克，推/拉力從幾牛頓至幾千牛頓，具有多種結(jié)構(gòu)類型如疊堆式結(jié)構(gòu)、嵌套式結(jié)構(gòu)以及性能更優(yōu)異的并聯(lián)式結(jié)構(gòu)等，定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級，定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級，主要技術(shù)指標(biāo)已達(dá)到*水平，可*地替代進(jìn)口產(chǎn)品。

       研生科技的產(chǎn)品和技術(shù)主要應(yīng)用于前沿領(lǐng)域科學(xué)研究、半導(dǎo)體制造與檢測、生物顯微成像、精密光學(xué)系統(tǒng)、光電子對準(zhǔn)與封裝、光學(xué)跟蹤與掃描、超精密加工、*自動化等領(lǐng)域。廣泛服務(wù)于各高校、科研院所以及各類制造光學(xué)顯微檢測設(shè)備、激光加工設(shè)備、半導(dǎo)體IC設(shè)備、測量/檢測儀器、光電設(shè)備、光學(xué)儀器、醫(yī)療設(shè)備、特種精密加工等的高精密裝備制造商。