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行業(yè)產(chǎn)品

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北京歐屹科技有限公司


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Bump 3D檢測系統(tǒng)

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參  考  價:¥20000 - ¥50000 /套
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 產(chǎn)品型號

    SVI-S10220

  • 品牌

    其他品牌

  • 廠商性質(zhì)

    代理商

  • 產(chǎn)品資料

    下載

  • 所在地

    北京市

聯(lián)系方式:王新波查看聯(lián)系方式

更新時間:2025-11-10 15:54:53瀏覽次數(shù):187次

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經(jīng)營模式:代理商

商鋪產(chǎn)品:113條

所在地區(qū):北京北京市

聯(lián)系人:王新波 (銷售)

產(chǎn)品簡介
產(chǎn)地 進(jìn)口 加工定制 否

Bump 3D檢測系統(tǒng)是半導(dǎo)體及電子制造領(lǐng)域的高精度檢測設(shè)備,核心優(yōu)勢在于亞微米至納米級測量精度。它依托多光束共聚焦技術(shù),可精準(zhǔn)捕捉 Bump 高度、直徑、共面性等關(guān)鍵參數(shù),高效識別各類缺陷。設(shè)備適配 2-12 英寸晶圓及多種基板,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體封裝、SMT 等場景,以超高精度為精密制造質(zhì)量管控提供可靠保障。

詳細(xì)介紹

Bump 3D檢測系統(tǒng)

主要用途

l  凸塊(Bump)高度測量

l  凸塊(Bump)共面性測量

l  凸塊(Bump)直徑測量

多束共聚焦光學(xué)系統(tǒng)

如果反射光線的物體表面位于與點(diǎn)光源共軛的位置,那么高速測量是不可能的。只有與單個針孔共軛的單一光束測量才能實(shí)現(xiàn)。此系統(tǒng)的測量傳感器在針孔陣列中擁有超過3百萬個針孔點(diǎn),能夠通過多光束系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)高速測量。

我們有兩個多波束共焦系統(tǒng)選項。-一種是非掃描型(NCS),適用于高速和更廣泛的測量范圍;另一種是掃描型(SCS),通過應(yīng)用針孔陣列的線性掃描系統(tǒng),具有更高的檢測分辨率。

光學(xué)共聚焦高度測量新機(jī)制

在共焦法中,需要通過線性掃描來獲取并計算光電探測器的輸出。然而,通過Z級移動進(jìn)行Z掃描的速度并不令人滿意。我們獨(dú)特的光學(xué)技術(shù),無需Z級掃描即可實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)。通過光路上裝配不同厚度的玻璃盤,焦點(diǎn)位置會根據(jù)玻璃厚度發(fā)生變化,這種效果等價于Z軸移動,通過旋轉(zhuǎn)玻璃盤實(shí)現(xiàn)高速的Z軸掃描,因此可以高速度獲取不同焦點(diǎn)的圖像。


配置參數(shù)

Bump3D檢測系統(tǒng)

7040

7550

7580

8000

10000

10210

FOV(mm)

13×13

9.9×7.4

9.9×9.9

13×13

41×33

15×15

XY精度(um)

3.0

2.4

1.42

8

11

3

Z軸范圍(um)

180

90

300

4000

4000

300

Bump 最小直徑(um)

25

20

10

100

100

25

Bump 間距(um)

55

40

20

180

200

55






關(guān)鍵詞:光電探測器

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